[发明专利]一种固定点石墨坩埚除杂系统

摘要

本发明涉及一种固定点石墨坩埚除杂系统。所述系统主要包括石英桶、波纹管、气压传感器、声光报警器、真空电磁阀、真空主管道、真空电气比例阀、冷阱、水平钢罐、钢导管、橡胶软管、液氮罐、高温均热炉、支架台、显示器、电脑主机、数据采集控制卡与真空泵。本发明使用时，计算机实时监控管路气压、高温均热炉温度并通过真空电磁阀、真空电气比例阀控制管路通断；在真空泵工作时，水平钢罐起到中继作用控制液氮的通入速度，从而实现对固定点石墨坩埚的自动除杂。避免了人工添加液氮、操作真空阀、开启大小控制不准等问题。具有结构简单，操作方便，安全可靠等优点，有效降低了劳动强度并提高了固定点石墨坩埚的自动化除杂水平。

主权项

一种固定点石墨坩埚除杂系统，主要包括石英桶、波纹管、气压传感器、声光报警器、真空电磁阀、真空主管道、真空电气比例阀、冷阱、水平钢罐、钢导管、橡胶软管、液氮罐、高温均热炉、支架台、显示器、电脑主机、数据采集控制卡与真空泵。所述系统各部件通过真空主管道连接，从左至右依次设置为高温均热炉、放置于支架台上的显示器与电脑主机、真空泵、液氮罐。其余部件如气压传感器、声光报警器、真空电磁阀、真空电器比例阀、冷阱、水平钢罐等依次连接于真空主管道上。