[发明专利]一种固定点石墨坩埚除杂系统在审

专利信息
申请号: 201710109994.4 申请日: 2017-02-27
公开(公告)号: CN106903123A 公开(公告)日: 2017-06-30
发明(设计)人: 陈勇飞;王学影;周跃;屠乾磊;袁素娟 申请(专利权)人: 中国计量大学
主分类号: B08B9/08 分类号: B08B9/08;G01L19/12
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 310018 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 固定 石墨 坩埚 系统
【权利要求书】:

1.一种固定点石墨坩埚除杂系统,主要包括石英桶、波纹管、气压传感器、声光报警器、真空电磁阀、真空主管道、真空电气比例阀、冷阱、水平钢罐、钢导管、橡胶软管、液氮罐、高温均热炉、支架台、显示器、电脑主机、数据采集控制卡与真空泵。所述系统各部件通过真空主管道连接,从左至右依次设置为高温均热炉、放置于支架台上的显示器与电脑主机、真空泵、液氮罐。其余部件如气压传感器、声光报警器、真空电磁阀、真空电器比例阀、冷阱、水平钢罐等依次连接于真空主管道上。

2.根据权利要求1所述的一种固定点石墨坩埚除杂系统,其特征在于,所有真空电磁阀、真空电器比例阀、高温均热炉、气压传感器、真空泵、声光报警器均由计算机控制。

3.根据权利要求1所述的气压传感器,其特征在于,其既能数显又能将气压数据实时传递到计算机中。

4.根据权利要求1所述的支架台,其特征在于,其既能起到对真空主管道的支撑作用又起到摆放、固定显示器与电脑主机的作用。

5.根据权利要求1所述的声光报警器,其特征在于,其设有蜂鸣器和绿、黄、红三色灯,三色灯绿、黄、红分别代表系统正常运行、系统待机或测试完成、系统故障报警,其中黄、红报警灯与蜂鸣器同时工作。

6.根据权利要求1所述的真空主管道,其特征在于,所有管道均为钢管。

7.根据权利要求1所述的水平钢罐,其特征在于,水平钢罐固定于真空主管道下方,一端开口可连接液氮罐的钢导管,另一端通过一钢管延伸至冷阱上端用于向冷阱中添加制冷剂液氮。其中水平钢罐容积与延伸至冷阱的钢管内径可满足固定速度向冷阱中加入液氮的要求,起到中继作用。

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