[发明专利]应用于PLC晶圆激光切割装置及带有该装置的皮秒激光器有效
| 申请号： | 201710098229.7 | 申请日： | 2017-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN106825943B | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 庄鸿武;张朝阳;陆海强;徐金磊;杨敬博;顾秦铭 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/0622;B23K26/064;B23K26/067 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了应用于PLC晶圆激光切割装置及带有该装置的皮秒激光器，涉及激光加工应用领域，该装置包括用于射出激光的激光器，激光器一端设置有用于接收激光的第一45°镜，第一45°镜一侧设置有接收激光的变频晶体，变频晶体远离所示第一45°镜的一侧设置有高反镜，高反镜将激光反射至第一45°镜，激光器远离所述第一45°镜的一侧设置有角锥，角锥与所述激光晶体之间设置有调Q，第一45°镜远离所述高反镜的一侧设置有分光系统，分光系统的一侧设置有凸透镜。本发明具有激光器射出的激光能量较低，经折射后存储在调Q中，能量足够后再射出并穿透第一45°镜，进行切割，降低了激光器功率的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 plc 激光 切割 装置 带有 激光器 | ||
【主权项】：
1.应用于PLC晶圆激光切割装置，其特征在于：包括用于射出激光的激光器(1)，所述激光器(1)一端设置有用于接收激光的第一45°镜(2)，所述第一45°镜(2)一侧设置有接收反射激光的变频晶体(3)，所述变频晶体(3)远离所示第一45°镜(2)的一侧设置有高反镜(4)，所述高反镜(4)将经过变频晶体(3)转换过的激光反射至第一45°镜(2)，所述激光器(1)远离所述第一45°镜(2)的一侧设置有角锥(6)，所述角锥(6)与所述激光器(1)之间设置有调Q开关(8)，所述第一45°镜(2)远离所述高反镜(4)的一侧设置有分光系统(10)，所述分光系统(10)入射激光侧设置有导光镜(9)，分光系统(10)射出激光侧设置有凸透镜(12)；所述凸透镜(12)与所述分光系统(10)之间设置有第二45°镜(13)。
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