[发明专利]涂布检测装置

摘要

本发明提供一种涂布检测装置及涂布检测方法。本发明的涂布检测装置，包括承载平台、传送轮组、固定支架、数个CCD图像传感器、数个膜厚量测器、以及用于数据处理的计算机；通过在传送轮组上方设置一整排的CCD图像传感器，提高CCD图像传感器的设置密度，从而具有高精度的AOI检测功能，能够有效检测出异物、气泡、彩晕、刮伤、印刷歪斜等涂布缺陷，后续无需再额外抽检进行宏观检测与微观检测，检测过程中无需操作人员遥感CCD图像传感器来回移动，能够实现对基板涂布效果的全自动检测，进而能够有效提高产能，并且通过设置膜厚量测器，还兼具膜厚量测功能，从而实现了对基板涂布效果的全面检测。

主权项

一种涂布检测装置，其特征在于，包括：用于承载基板(500)的承载平台(160)、驱动承载平台(160)及基板(500)移动从而对基板(500)进行传送的传送轮组(110)、架设于传送轮组(110)上方的固定支架(120)、安装于固定支架(120)上面向传送轮组(110)一侧的数个CCD图像传感器(130)及数个膜厚量测器(140)，以及与所述数个CCD图像传感器(130)、数个膜厚量测器(140)均相连接的用于数据处理的计算机(150)；所述数个CCD图像传感器(130)在垂直于所述基板(500)移动方向(y)的第一方向(x)上并列排布，用于在基板(500)移动过程中对位于其下方的基板(500)进行拍照；所述数个CCD图像传感器(130)的拍摄范围覆盖所述基板(500)在垂直于所述基板(500)移动方向(y)上的宽度；所述数个膜厚量测器(140)用于在基板(500)移动过程中对位于其下方的基板(500)进行涂布膜厚的量测。