[发明专利]涂布检测装置

说明书

技术领域

本发明涉及显示面板的制造领域，尤其涉及一种涂布检测装置。

背景技术

液晶显示装置(Liquid Crystal Display，LCD)具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用。现有市场上的液晶显示装置大部分为背光型液晶显示装置，其包括液晶显示面板及背光模组。通常液晶显示面板由彩膜(Color Filter，CF)基板、薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)基板、夹于彩膜基板与TFT基板之间的液晶(Liquid Crystal，LC)及密封框胶(Sealant)组成。液晶显示面板的工作原理是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶分子，通过玻璃基板通电与否来控制液晶分子改变方向，将背光模组的光线折射出来产生画面。

通常，TFT基板及CF基板上分别具有一层取向膜，该取向膜与LC接触后，能够使得LC产生一定方向的预倾角，从而给液晶分子提供一个承载的角度(预倾角的大小对LCD的驱动电压、对比度、响应时间、视角等具有重要影响)，取向膜的材料通常选用聚酰亚胺(Polyimide,PI)材料，由PI液涂布于基板上所形成。

目前常用的配向膜制作方法如下：采用转印版(ARP Plate)在基板(阵列基板或彩膜基板)上涂布配向液(PI液)，然后再通过配向工艺(如摩擦配向工艺/光配向)以及其他工艺从而在基板上形成所需的配向膜。而具体的配向膜涂布过程又大致包括以下步骤：对基板进行清洗工艺，在经过清洗工艺的所述基板上涂布配向液，对涂布在所述基板上的所述配向液进行固化工艺形成薄膜，最后还需要通过检测设备进行配向膜涂布缺陷检查。

目前，传统的检测方式是通过使用自动光学检验(automated optical inspection，AOI)设备对其中的基板进行检验。所述自动光学检验设备主要是利用CCD(Charge-coupled Device，电荷耦合元件)图像传感器对被检测基板拍照得到被检测基板的灰度图像，然后通过计算机对该灰度图像进行分析，判定被检测基板是否存在各种不良，如存在异物(Particle)、气泡(Pin hole)、彩晕(Mura)、刮伤、印刷歪斜(PI shift)等。

通常现有的自动光学检测装置包括用于传送并承载基板的承载平台、驱动承载平台及基板移动从而对基板进行传送的传送轮组、架设于传送轮组上方的固定支架、安装于固定支架上的CCD图像传感器、及与所述CCD图像传感器连接用于数据处理的计算机，该自动光学检测装置使用时，被检测基板在传送轮组的驱动下向前移动；同时设置在被检测基板上方的CCD图像传感器对被检测基板的表面进行拍照，并将拍照的图像转换为灰度图像后，与事先输入计算机的基板灰度图像进行对比，依此判定被检测基板是否存在坏点以及坏点的位置。然而，受限于现有自动光学检测装置的检测精度，无法实现线上(in line)的全自动检测，检测过程中还需操作人员遥感CCD图像传感器在被检测基板上方来回移动以对被检测基板进行全面检测，并且为避免漏检，通常在对线上的基板逐个进行AOI检测后，还需抽检9％-10％的基板进行宏观检测(MAC)，其中每片基板宏观检测的时间约为300s，之后还需抽检9％-10％的基板进行微观检测(MIC)，其中每片基板微观检测的时间也约为300s，产能较低。

另外，薄膜的膜厚也会影响产品的质量，因此显示装置的制造工艺对薄膜的厚度要求特别高。在涂布工艺中，涂布的均匀性决定了涂布工艺的优劣，而涂布的均匀性又会影响薄膜的膜厚。因此，对于配向膜涂布的检查，除了需要对基板进行AOI检测之外，还需要在另一设备上进行膜厚检测，膜厚检测一般是通过THK(Thickness Measure)进行光学量测。

发明内容

本发明的目的在于提供一种涂布检测装置，具有高精度的AOI检测功能，同时具有膜厚量测功能，能够实现对基板涂布效果的全自动检测，进而能够有效提高产能。

为实现上述发明目的，本发明提供一种涂布检测装置，包括：用于承载基板的承载平台、驱动承载平台及基板移动从而对基板进行传送的传送轮组、架设于传送轮组上方的固定支架、安装于固定支架上面向传送轮组一侧的数个CCD图像传感器及数个膜厚量测器，以及与所述数个CCD图像传感器、数个膜厚量测器均相连接的用于数据处理的计算机；

所述数个CCD图像传感器在垂直于所述基板移动方向的第一方向上并列排布，用于在基板移动过程中对位于其下方的基板进行拍照；

所述数个CCD图像传感器的拍摄范围覆盖所述基板在垂直于所述基板移动方向上的宽度；