[发明专利]具有基于拍摄图像的移送控制的装置在审
申请号: | 201710070796.1 | 申请日: | 2017-02-09 |
公开(公告)号: | CN107086195A | 公开(公告)日: | 2017-08-22 |
发明(设计)人: | 根岸克治;田中万平 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人: | 李辉,于靖帅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供具有基于拍摄图像的移送控制的装置,能够不使装置的结构复杂化、高昂化而使移动构件准确地移动至规定的位置,或者对动作错误进行监视。根据本发明,提供具有基于拍摄图像的移送控制的装置,该装置至少包含拍摄构件,其对保持构件借助移动构件的动作而移动的区域进行拍摄;基本图像存储构件,其存储有与该保持构件或该作用构件的适当的动作相对应的基本图像;以及控制构件,其对该拍摄构件所拍摄的图像和该基本图像存储构件中所存储的基本图像进行比较而对该移动构件或该作用构件进行控制以使两图像一致。 | ||
搜索关键词: | 具有 基于 拍摄 图像 移送 控制 装置 | ||
【主权项】:
一种装置,其中,该装置具有:保持构件,其对被加工物进行保持;作用构件,其对该保持构件所保持的被加工物实施作用;移动构件,其使该保持构件与该作用构件相对地移动;拍摄构件,其对该保持构件借助该移动构件的动作而移动的区域进行拍摄;基本图像存储构件,其存储有与该保持构件或该作用构件的适当的动作相对应的基本图像;以及控制构件,其对该拍摄构件所拍摄的图像和该基本图像存储构件中所存储的基本图像进行比较而对该移动构件或该作用构件进行控制以使两图像一致。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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