[发明专利]具有基于拍摄图像的移送控制的装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种装置，该装置具有：保持构件，其对被加工物进行保持；作用构件，其对被加工物实施作用；以及移动构件，其使该保持构件与该作用构件相对地移动。

背景技术

在通过磨削装置(例如，参照专利文献1。)对由分割预定线划分并在正面上形成有IC、LSI等多个器件的晶片的背面进行磨削而形成为规定的厚度之后，通过划片装置(例如，参照专利文献2。)或激光加工装置(例如，参照专利文献3。)来分割成各个器件芯片，分割得到的器件芯片被应用于移动电话、个人计算机等电子设备。

例如，上述划片装置包含如下部件：作为保持构件的卡盘工作台，其在切削加工时对晶片进行保持；切削构件，其以能够旋转的方式具有对保持在该卡盘工作台上的晶片进行切削的切削刀具；加工进给构件，其使该卡盘工作台与该切削构件相对地进行加工进给；分度进给构件，其使该卡盘工作台与切削构件相对地进行分度进给；盒工作台，在该盒工作台上载置有收纳了多张晶片的盒；搬出构件，其将晶片从盒搬出到暂放台上；搬送机构，其将暂放在暂放台上的晶片搬送至卡盘工作台；对准构件，其对保持在该卡盘工作台上的晶片进行拍摄，并对待切削的区域进行检测；以及清洗构件，其对切削完的晶片进行清洗，该划片装置能够将晶片高精度地分割成各个器件芯片。

专利文献1：日本特开2001-284303号公报

专利文献2：日本特开2000-061804号公报

专利文献3：日本特开2005-088053号公报

这里，在上述划片装置中，将被加工物从盒中搬出之后一边通过各种保持构件进行保持，一边通过与对被加工物实施切削加工、清洗等作用的各位置对应的移动构件来使其移动。此时，为了确保针对作为精密设备的半导体晶片的加工品质，需要对各移动构件所进行的移动进行监视，并使其准确地移动至目标位置。因此，需要如下的方式等：在各移动构件的移动方向上铺设直线标尺，并设置对该直线标尺的刻度进行读取的读取头，对从读取头检测出的脉冲数进行计数而对移动进行监视，或者，按照各移动构件的目标位置来设置在移动构件到达目标位置的情况下导通的传感器、检测开关，并设置对是否已准确地移动至目标位置进行监视的构件，装置整体的结构会复杂化，并且产生了装置成本高昂化的问题。另外，该问题并不仅在划片装置中产生，还在磨削装置、激光加工装置等具有使被加工物移动至对被加工物实施作用的作用位置的构件的所有的装置中产生。

发明内容

本发明是鉴于上述事实而完毕的，其主要的技术课题在于，提供一种装置，该装置具有对被加工物进行保持的保持构件、对被加工物实施作用的作用构件、以及使保持着被加工物的保持构件相对于作用构件移动的移动构件，其中，不使该装置的结构复杂化、高昂化，能够使移动构件准确地移动至规定的位置，或者能够对动作错误进行监视。

为了解决上述主要的技术课题，根据本发明，提供一种装置，其中，该装置具有：保持构件，其对被加工物进行保持；作用构件，其对保持在该保持构件上的被加工物实施作用；移动构件，其使该保持构件与该作用构件相对地移动；拍摄构件，其对借助该移动构件的动作而使该保持构件移动的区域进行拍摄；基本图像存储构件，其存储有与该保持构件或该作用构件的适当的动作相对应的基本图像；以及控制构件，其对该拍摄构件所拍摄的图像和该基本图像存储构件中所存储的基本图像进行比较而对该移动构件或该作用构件进行控制以使两图像一致。

并且，优选该装置具有显示构件，在即便该控制构件对该拍摄构件所拍摄的图像和该基本图像存储构件中所存储的基本图像进行比较而对该移动构件或该作用构件进行控制以使两图像一致但两图像也不一致的情况下，在该显示构件中显示出错误，该装置能够适用于划片装置、激光加工装置、磨削装置中的任意装置。

根据本发明，由于装置包含：保持构件；作用构件；拍摄构件，其对该保持构件借助移动构件的动作而移动的区域进行拍摄；基本图像存储构件，其存储有与该保持构件或该作用构件的适当的动作相对应的基本图像；控制构件，其对该拍摄构件所拍摄的图像和该基本图像存储构件中所存储的图像进行比较而对该移动构件或该作用构件进行控制以使图像一致，所以能够解决不需要配设多个用于对该保持构件的移动进行监视的传感器、不使对被加工物实施作用的装置的结构复杂化、高昂化的问题。

附图说明

图1是根据本发明而构成的、划片装置的整体立体图和控制构件(控制器)的框图。

图2是图1所示的划片装置的控制构件所执行的控制程序的流程图。