[发明专利]基于缝隙结构的在线式微波相位检测器

摘要

本发明的基于缝隙结构的在线式微波相位检测器，检测器是一个在线式微波相位检测器，检测器制备在高阻硅衬底上，由共面波导传输线、缝隙结构、功合器以及两个间接热电式微波功率传感器所构成。在微波信号传输的共面波导传输线两侧对称设置有两个缝隙结构，上侧的缝隙结构连接着间接热电式微波功率传感器，主要用于检测耦合出的信号的功率大小。下侧的缝隙结构连接着功合器以及间接热电式微波相位检测器，通过矢量合成法实现信号的相位检测。本发明的创新之处在于利用缝隙结构实现了微波信号相位的在线式检测，并且由于耦合出的信号相比于待测信号而言小得多，因此对该微波信号影响不大。

主权项

一种基于缝隙结构的在线式微波相位检测器，其特征是在高阻硅衬底(1)上制作SiO2层(22)，在SiO2层(22)上设有共面波导传输线、两个关于共面波导传输线的信号线(2)对称的缝隙结构(4)和缝隙结构(5)、功合器以及间接热电式微波功率传感器1和间接热电式微波功率传感器2，共面波导传输线由共面波导传输线的信号线(2)和地线(3)构成，缝隙结构(4)通过间接热电式微波功率传感器1的共面波导传输线的信号线(16)连接至间接热电式微波功率传感器1，缝隙结构(5)通过功合器的第一共面波导传输线的信号线(8)连接至功合器的输入端，功合器的另一个输入端通过第二共面波导传输线的信号线(9)连接至参考信号输入端口，功合器的输出端通过功合器的第三共面波导传输线的信号线(10)连接间接热电式微波功率传感器2。