[发明专利]基于缝隙结构的在线式微波相位检测器

权利要求书

1.一种基于缝隙结构的在线式微波相位检测器，其特征是在高阻硅衬底(1)上制作SiO₂层(22)，在SiO₂层(22)上设有共面波导传输线、两个关于共面波导传输线的信号线(2)对称的缝隙结构(4)和缝隙结构(5)、功合器以及间接热电式微波功率传感器1和间接热电式微波功率传感器2，共面波导传输线由共面波导传输线的信号线(2)和地线(3)构成，缝隙结构(4)通过间接热电式微波功率传感器1的共面波导传输线的信号线(16)连接至间接热电式微波功率传感器1，缝隙结构(5)通过功合器的第一共面波导传输线的信号线(8)连接至功合器的输入端，功合器的另一个输入端通过第二共面波导传输线的信号线(9)连接至参考信号输入端口，功合器的输出端通过功合器的第三共面波导传输线的信号线(10)连接间接热电式微波功率传感器2。

2.根据权利要求1所述的基于缝隙结构的在线式微波相位检测器，其特征是采用间接热电式微波功率传感器检测微波信号功率，所述的间接热电式微波功率传感器1由共面波导传输线的信号线(16)、两个终端电阻(14)、热电堆1以及直流输出块(15)所构成，热电堆1是由金属热偶臂(11)和半导体热偶臂(12)通过欧姆接触区(13)级联组成；所述的间接热电式微波功率传感器2由共面波导传输线的信号线(10)、两个终端电阻(20)、热电堆2以及直流输出块(21)所构成，热电堆2是由金属热偶臂(17)和半导体热偶臂(18)通过欧姆接触区(19)级联组成。

3.根据权利要求1所述的基于缝隙结构的在线式微波相位检测器，其特征是采用功合器进行功率合成，所述的功合器由ACPS信号线(6)、隔离电阻(7)、第一共面波导传输线的信号线(8)、第二共面波导传输线的信号线(9)、第三共面波导传输线的信号线(10)组成。

4.根据权利要求1所述的基于缝隙结构的在线式微波相位检测器，其特征是采用缝隙结构(4)和缝隙结构(5)耦合微波信号，通过控制缝隙结构的几何尺寸可以调整所耦合的微波信号的大小。