[发明专利]超净空间的高精度温控室及温控方法有效
| 申请号： | 201710047493.8 | 申请日： | 2017-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN106760675B | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 倪欣;丁峰;邢超 | 申请（专利权）人： | 中联西北工程设计研究院有限公司 |
| 主分类号： | E04H1/12 | 分类号： | E04H1/12;E04F17/04;E04B2/56;F24F11/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 张弘 |
| 地址： | 710082*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超净空间的高精度温控室及温控方法，包括相互间隔设置的小型实验室、核心实验室和精密加工区；所述的小型实验室的四周设置有第一回风夹道；所述的核心实验室采用多级嵌套结构，核心实验室的外周设置有核心区回廊，核心区回廊一侧设置超精区走廊，另一侧设置第二回风夹道；核心实验室设置有两面用于自然对流的通风板墙；所述的精密加工区侧壁设置有送回风夹道。该结构能够使其内部温度控制在±0.01℃的使用要求。且该实验区内不能有任何送排风管道，以免对气流造成扰动。 | ||
| 搜索关键词： | 净空 高精度 温控 方法 | ||
【主权项】：
1.一种超净空间的高精度温控室，其特征在于：包括相互间隔设置的小型实验室(2)、核心实验室(9)和精密加工区(12)；所述的小型实验室(2)的四周设置有第一回风夹道(3)；所述的核心实验室(9)采用多级嵌套结构，核心实验室(9)的外周设置有核心区回廊(8)，核心区回廊(8)一侧设置超精区走廊(7)，另一侧设置第二回风夹道(10)；核心实验室(9)设置有两面能够形成自然对流的通风板墙(13)；所述的精密加工区(12)侧壁设置有送回风夹道(11)；第二回风夹道(10)内的回风管道与核心区回廊(8)连通；超精区走廊(7)与核心区回廊(8)分别采用精度为±0.5℃和±0.2℃的空调系统。
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