[发明专利]超净空间的高精度温控室及温控方法有效

专利信息
申请号: 201710047493.8 申请日: 2017-01-22
公开(公告)号: CN106760675B 公开(公告)日: 2019-01-18
发明(设计)人: 倪欣;丁峰;邢超 申请(专利权)人: 中联西北工程设计研究院有限公司
主分类号: E04H1/12 分类号: E04H1/12;E04F17/04;E04B2/56;F24F11/00
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 张弘
地址: 710082*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 净空 高精度 温控 方法
【说明书】:

发明公开了一种超净空间的高精度温控室及温控方法,包括相互间隔设置的小型实验室、核心实验室和精密加工区;所述的小型实验室的四周设置有第一回风夹道;所述的核心实验室采用多级嵌套结构,核心实验室的外周设置有核心区回廊,核心区回廊一侧设置超精区走廊,另一侧设置第二回风夹道;核心实验室设置有两面用于自然对流的通风板墙;所述的精密加工区侧壁设置有送回风夹道。该结构能够使其内部温度控制在±0.01℃的使用要求。且该实验区内不能有任何送排风管道,以免对气流造成扰动。

【技术领域】

发明属于建筑设计领域,具体涉及一种超净空间的高精度温控室及温控方法。

【背景技术】

随着精密设备的生产及国外进口设备的应用日益普遍,对使用环境提出了更高的要求。如果环境温度波动超出使用要求,则会带来设备无法正常启动或生产产品的不合要求。为了让使用方在重金购买高精密设备后能正常运作带来效益,那么确保设备的使用环境温度则显得尤为重要了。

【发明内容】

本发明内容旨在解决高精度要求的实验室内,提供了一种超净空间的高精度温控室及温控方法,其温度控制在±0.01℃的使用要求。且该实验区内不能有任何送排风管道,以免对气流造成扰动。

为了实现上述任务,本发明采用以下技术措施:

一种超净空间的高精度温控室,包括相互间隔设置的小型实验室、核心实验室和精密加工区;所述的小型实验室的四周设置有第一回风夹道;所述的核心实验室采用多级嵌套结构,核心实验室的外周设置有核心区回廊,核心区回廊一侧设置超精区走廊,另一侧设置第二回风夹道;核心实验室设置有两面能够形成自然对流的通风板墙;所述的精密加工区侧壁设置有送回风夹道;第二回风夹道内的回风管道与核心区回廊连通;超精区走廊与核心区回廊分别采用精度为±0.5℃和±0.2℃的空调系统。

所述的小型实验室的顶部通过单轨吊车轨梁设置有3T单轨吊车。

所述的小型实验室的底部的两层防水间通过干砂填充。

所述的通风板墙由方钢骨架和双面彩钢板玻璃丝棉组成,双面彩钢板玻璃丝棉设置有观察窗和多个可拆卸的微穿孔板。

所述的微穿孔板每隔1.5米设置一个。

所述的微穿孔板为镀锌板,开孔率为3%。

所述的微穿孔板设置有把手。

一种基于所述的超净空间的高精度温控室的温控方法,包括以下步骤:

首先把超精区走廊的温度控制在20±0.5℃;再将超精区走廊内的核心区回廊的温度控制在20±0.2℃;最后把核心实验室嵌套于核心区回廊内,通过核心实验室的两面通风板墙,形成自然对流,达到最终稳定均匀的温度场,使得核心实验室的温度维持在20±0.01℃。

当核心实验室内有余热散出时,核心区回廊内气流通过通风板墙与核心实验室内进行热交换,使内部温度场始终保持恒定;

当核心实验室温度场均匀后或内部气流扰动过大时,可拆卸一处或多处微穿孔板,用实心平板替换填实。

本发明与现有技术相比,具有以下优点:

本发明在高精度要求的实验室内分区设计,该实验区内不能有任何送排风管道,以免对气流造成扰动。尤其是对核心实验区的温度控制采用逐级递进,减小温度波动范围的控制方式。即采用多级嵌套,逐级提高温度精度控制的措施。核心区内无任何送排风措施,此实验室在实验时是不进人状态,依靠核心区与回廊分隔的两面特殊通风板墙进行自然对流,进而最终达到稳定的高精度温度场。首先把超精区走廊的温度控制在20±0.5℃;之后核心区回廊设置于超精区走廊内,温度控制在20±0.2℃;最后把核心实验室嵌套于核心区回廊内,通过核心实验室两面特制通风板墙,经自然对流,达到最终稳定均匀的温度场,室温精度维持在20±0.01℃,满足精密仪器对温度的严格要求。

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