[发明专利]一种晶圆翻转及安全保护设备和晶圆清洗方法

摘要

本发明公开了一种晶圆翻转及安全保护设备和晶圆清洗方法，该设备包括：箱体、翻转卡盘、转轴、驱动齿轮、挡水门、喷水管、齿条；箱体的侧面设有晶圆进出口；翻转卡盘安装在箱体内；转轴固定在翻转卡盘的一侧；驱动齿轮带动转轴转动；挡水门安装在箱体的晶圆进出口位置；喷水管安装在箱体的顶部，位于翻转卡盘的上方；齿条的一端与挡水门连接，驱动齿轮与齿条相啮合。在本发明设备中，晶圆靠自身的重力实现与翻转卡盘活动连接，晶圆放置在翻转卡盘上无需驱动装置，结构简单可靠；挡水门的开关是伴随着翻转卡盘的翻转自动完成的，无需额外的动力驱动与信号判断；对于卡盘的翻转角度和晶圆的防倾倒进行了防呆的安全设计，提高了整个系统的可靠性。

主权项

1.一种晶圆翻转及安全保护设备，其特征在于，包括：箱体，所述箱体的侧面设有晶圆进出口；翻转卡盘，所述翻转卡盘安装在所述箱体内；转轴，转轴固定在所述翻转卡盘的一侧；驱动齿轮，所述驱动齿轮带动所述转轴转动；挡水门，所述挡水门安装在所述箱体的晶圆进出口位置；喷水管，所述喷水管安装在所述箱体的顶部，位于翻转卡盘的上方；齿条，所述齿条的一端与所述挡水门连接，驱动齿轮与齿条相啮合；翻转卡盘具有第一工位和第二工位，第一工位的翻转卡盘处于水平状态或与水平面成小于5度的角度，第二工位的翻转卡盘处于竖直状态或与竖直面成小于5度的角度；翻转卡盘位于第一工位时齿条驱动挡水门使晶圆进出口处于打开状态，翻转卡盘位于第二工位时齿条驱动挡水门使晶圆进出口处于关闭状态；还包括翻转限位块、水平限位螺柱和竖直限位螺柱；水平限位螺柱和竖直限位螺柱间隔固定在翻转卡盘的一侧；翻转限位块固定在箱体上，翻转卡盘位于第一工位时，水平限位螺柱与翻转限位块上水平面接触，翻转卡盘位于第二工位时，竖直限位螺柱与翻转限位块左侧垂直面接触。