[发明专利]用于执行边缘环表征的系统和方法有效
| 申请号： | 201710036188.9 | 申请日： | 2017-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN107240541B | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 马库斯·穆瑟尔曼;安德鲁·D·贝利三世;乔恩·麦克切斯尼 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于执行边缘环表征的系统和方法。衬底处理系统中的衬底支撑件包括：布置成支撑衬底的内部部分，围绕所述内部部分的边缘环，以及控制器。所述控制器执行以下操作中的至少一个：升高边缘环以选择性地使所述边缘环接合所述衬底，和降低所述内部部分以选择性地使所述边缘环接合所述衬底。所述控制器确定所述边缘环何时接合所述衬底，并且基于对所述边缘环何时接合所述衬底的所述确定来计算所述衬底处理系统的至少一个特性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 执行 边缘 表征 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种衬底处理系统中的衬底支撑件，所述衬底支撑件包括：内部部分，其布置成支撑衬底；其中所述衬底包括从所述衬底的边缘向外延伸的至少一个接触指，并且其中所述至少一个接触指被设置成接合围绕所述内部部分的边缘环；以及控制器，其执行操作(i)和(ii)中的至少一个：(i)升高所述边缘环以选择性地使所述边缘环接合所述衬底的所述接触指，(ii)降低所述内部部分以选择性地使所述边缘环接合所述衬底的所述接触指，响应于表示所述边缘环已接合所述衬底的所述接触指的测量信号确定所述边缘环何时接合所述衬底的所述接触指，以及基于对所述边缘环何时接合所述衬底的所述接触指的所述确定来计算所述边缘环的尺寸。
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