[发明专利]一种三维电场调制低漏电终端保护结构有效
| 申请号： | 201710027720.0 | 申请日： | 2017-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN106952944B | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | 黄润华;柏松;陶永洪;汪玲 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 窦贤宇 |
| 地址： | 210016 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三维电场调制低漏电终端保护结构，包括有源区、器件隔离区，以及位于所述有源区和器件隔离区之间的终端保护区，所述终端保护区具有多个多边形注入区；所述多边形注入区的各边与有源区主结形成一夹角，使得终端保护区的电场与有源区主结形成的夹角不等于90°，降低垂直于有源区部分的电场分量。在本发明中，注入区各个边与有源区主结夹角来将终端保护区电场调整到不与主结垂直的方向上。即引入其他方向电场分量降低了垂直于有源区方向的电场分量，进而降低了终端保护区的漏电。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三维 电场 调制 漏电 终端 保护 结构 | ||
【主权项】：
1.一种三维电场调制低漏电终端保护结构，其特征在于，包括有源区、器件隔离区，以及位于所述有源区和器件隔离区之间的终端保护区，所述终端保护区具有多个多边形注入区；所述多边形注入区的各边与有源区主结形成一夹角，使得终端保护区的电场与有源区主结形成的夹角不等于90°，降低垂直于有源区部分的电场分量；所述多边形注入区为三角形、六边形或菱形注入区；所述多边形注入区成纵横排列；所述终端保护区的掺杂为第一导电类型，所述多边形注入区的掺杂为第二导电类型；在倒角处，所述多边形注入区扭曲变形，使终端保护区电场方向与有源区边缘线形成预定的夹角。
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