[发明专利]单元式独控箱体结构

摘要

本发明提出一种单元式独控箱体结构，将整体式的存储柜分割成多个独立的腔室，每个腔室连通对其抽真空的真空泵和对其破真空的破真空气源，并采用智能控制系统对抽真空及破真空过程进行智能控制，实现了真空智能存储晶圆的功能，相比传统的氮气柜，本发明晶圆存储全过程处于真空状态，可保证氧含量达到10ppm，杜绝晶圆在存储过程中的氧化问题，且晶圆存储过程无需使用氮气，大大节约成本，每个腔室的存取操作不影响其他腔室，降低运营成本；此外，控制系统更具智能化，有储存历史状态供查询，可自动保存各腔室当前或历史所存储的晶圆批号及其储存时间，方便后续追溯。人机操作界面采用触摸屏及扫描枪，操作方便。

主权项

一种单元式独控箱体结构，其特征在于：包括箱体(1)，所述箱体被分割成若干个具有独立密闭空间的腔室(11)，每个腔室主要由具有开口的腔室壁(111)和可封闭该开口的箱门(112)组成；还包括真空泵(2)、破真空气源和控制系统，所述真空泵通过真空管路(21)连接至各腔室，用于对每个腔室进行抽真空，该真空管路上设有抽真空阀(22)；所述破真空气源通过破真空管路(31)连接至各腔室，用于向各腔室通入气体破除真空，该破真空管路上设有破真空阀(32)；所述控制系统包括控制器主机和人机操作界面(4)；存取时，所述人机操作界面获取存取信息并发送给所述控制器主机，所述控制器主机根据该存取信息，控制空闲的腔室或待取的腔室对应的破真空阀打开，使该腔室与所述破真空气源连通，以破真空并打开该腔室的箱门；存取后，所述箱门关闭通过感应开关向所述控制器主机提供闭合信号，所述控制器主机根据该闭合信号控制所述抽真空阀打开，并启动所述真空泵对该腔室进行抽真空。