[发明专利]一种铁酸锌丙酮气敏层的涂层制备方法

摘要

本发明涉及一种铁酸锌丙酮气敏层的涂层制备方法。本发明采用氧化铝Al₂O₃作为绝缘基体制备叉指型电极，在基体反面制备加热电极，取铁酸锌纳米粉末溶于去离子水或有机溶剂中，搅拌得到均匀悬浮液，通过蠕动泵将悬浮液以直径为0.3mm的非雾化喷嘴送入到焰流中心，通过调节H₂的流量以及喷枪电弧电流来控制焰流状态，得到气敏涂层，热处理温度在300‑600℃之间，热处理时间在1‑24小时，得到晶体结构。本发明克服了各种制备方法生产过程复杂，周期长，效率低等缺陷。本发明快速、简单的方法制备得到铁酸锌气敏涂层，后续热处理的温度，得到制备的最优的参数，获得具有选择性高、响应速度快的铁酸锌丙酮气体传感器，制备过程快速、简单，结构可控，提高传感器的性能。

主权项

1.一种铁酸锌丙酮气敏层的涂层制备方法，其特征在于，包含以下步骤：(1)采用氧化铝Al2O3作为绝缘基体，将基体进行清洗并干燥，通过真空镀膜的方法在基体正面制备叉指型电极，在基体反面制备加热电极；(2)称取商业铁酸锌纳米粉末，溶于去离子水或有机溶剂中，利用磁力搅拌器或其它高速搅拌装置得到均匀悬浮液；(3)将得到的均匀悬浮液，通过蠕动泵将悬浮液以直径为0.3mm的非雾化喷嘴送入到焰流中心，悬浮液流量可控，喷枪垂直于传感器基体表面，喷涂距离在50‑200mm之间，通过调节H2的流量以及喷枪电弧电流来控制焰流状态，得到气敏涂层；(4)对喷涂得到的气敏涂层进行了热处理，热处理温度在300‑600℃之间，热处理时间在1‑24小时，得到晶体结构。