[发明专利]一种铁酸锌丙酮气敏层的涂层制备方法有效
| 申请号： | 201710019887.2 | 申请日： | 2017-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN106896146B | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 张超;尤佳骏;郑兵兵;罗一凡;耿欣 | 申请（专利权）人： | 扬州大学 |
| 主分类号： | G01N27/30 | 分类号： | G01N27/30 |
| 代理公司： | 南京中新达专利代理有限公司 32226 | 代理人： | 孙鸥;朱杰 |
| 地址： | 225009 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铁酸锌 丙酮 气敏层 涂层 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种铁酸锌丙酮气敏层的涂层制备方法，其特征在于，包含以下步骤：
(1)采用氧化铝Al2O3作为绝缘基体，将基体进行清洗并干燥，通过真空镀膜的方法在基体正面制备叉指型电极，在基体反面制备加热电极；
(2)称取商业铁酸锌纳米粉末，溶于去离子水或有机溶剂中，利用磁力搅拌器或其它高速搅拌装置得到均匀悬浮液；
(3)将得到的均匀悬浮液，通过蠕动泵将悬浮液以直径为0.3mm的非雾化喷嘴送入到焰流中心，悬浮液流量可控，喷枪垂直于传感器基体表面，喷涂距离在50-200mm之间，通过调节H2的流量以及喷枪电弧电流来控制焰流状态，得到气敏涂层；
(4)对喷涂得到的气敏涂层进行了热处理，热处理温度在300-600℃之间，热处理时间在1-24小时，得到晶体结构。
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