[发明专利]一种表面跨尺度功能微纳结构的制造方法在审
| 申请号： | 201710017428.0 | 申请日： | 2017-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN106744674A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 曹生珠;何延春;张凯锋;吴敢;陈学康;王瑞;王虎;王兰喜 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;B23K26/362;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司11249 | 代理人： | 钟国 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种表面跨尺度功能微纳结构的制造方法，该制造方法步骤包括首先，采用毫秒脉冲激光扫描基体表面，加工出微米级结构图形；然后，采用飞秒脉冲激光扫描已加工出的微米级结构图形，从而在微米级结构图形表面诱导加工出纳米级结构图形。本发明采用毫秒脉冲激光刻蚀和和飞秒激光诱导相结合的结构表面微纳结构功能制造方法，可以完成表面微米级和纳米级功能微结构的跨尺度、高效、低成本制造，加工效率远高于半导体工艺，具有更好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 尺度 功能 结构 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种表面跨尺度功能微纳结构的制造方法，步骤包括：首先，采用毫秒脉冲激光扫描基体表面，加工出微米级结构图形；然后，采用飞秒脉冲激光扫描已加工出的微米级结构图形，从而在微米级结构图形表面诱导加工出纳米级结构图形。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于兰州空间技术物理研究所，未经兰州空间技术物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710017428.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于抗电涌的万能充电器电源保护结构
- 下一篇：一种纳米材料切断加工方法
