[发明专利]一种表面跨尺度功能微纳结构的制造方法在审
| 申请号： | 201710017428.0 | 申请日： | 2017-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN106744674A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 曹生珠;何延春;张凯锋;吴敢;陈学康;王瑞;王虎;王兰喜 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;B23K26/362;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司11249 | 代理人： | 钟国 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 表面 尺度 功能 结构 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种表面跨尺度功能微纳结构的制造方法，步骤包括：
首先，采用毫秒脉冲激光扫描基体表面，加工出微米级结构图形；
然后，采用飞秒脉冲激光扫描已加工出的微米级结构图形，从而在微米级结构图形表面诱导加工出纳米级结构图形。
2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于：加工微米级结构图形时，毫秒脉冲激光的脉冲频率为100Hz-1KHz，扫描速度为0.1mm/s-10mm/s。
3.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于：加工纳米级结构图形时，飞秒脉冲激光的脉冲频率为100Hz-100KHz，扫描速度为0.5mm/s-50mm/s。
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