[发明专利]一种分数阶傅立叶变换的白光反射测量膜厚的方法

摘要

本发明公开了一种分数阶傅立叶变换的白光反射测量膜厚的方法。本发明将白光反射率谱信号进行了分数阶傅立叶变换，在信号的傅立叶域上将噪声信号进行滤除，最后通过求取滤波后信号的特征值对待测膜厚进行快速的判断。本发明滤波效果好，速度较快，能够较好地区分有用信号和噪声之间的区别，提高了特征值判断薄膜厚度的准确率。

主权项

1.一种分数阶傅立叶变换的白光反射测量膜厚的方法，其特征在于,包括如下步骤：1)利用白光光源以接近于0°入射角照射待测薄膜，通过光学监测系统获取白光反射率谱原始信号；2)将步骤1)所得的白光反射率谱原始信号进行初始分数阶傅立叶变换，得到原始信号的初始时频信息；3)分析步骤2)所得到的原始信号的初始时频信息，得到分数阶傅立叶变换最佳旋转角度α以及阶次p，并对白光反射率谱原始信号进行p阶分数阶傅立叶变换，得到旋转后的白光反射率谱时频信息；4)将步骤3)所得的旋转后的白光反射谱时频信息进行时间窗函数滤波，得到滤波后的白光反射率谱时频信息；5)将步骤4)得到的滤波后的白光反射率谱时频信息进行p阶分数阶傅立叶反变换，得到滤波后的白光反射率谱信号；6)对步骤5)得到的滤波后的白光反射率谱信号提取特征值，通过特征值求得待测薄膜的膜厚。