[发明专利]流体控制装置

摘要

一种流体控制装置，包含：压电致动器包括悬浮板；外框；支架；压电元件；壳体包括出口板及底座，出口板供压电致动器设置于其中，底座包括入口板及共振片，入口板具有相连通于外的汇流腔室，共振片设置固定于入口板上，并具有中空孔洞；胶体设置于压电致动器之外框与底座的共振片之间，以维持压电致动器与底座的共振片之间具有间隙；其中，悬浮板由具有线膨胀系数比压电元件的线膨胀系数小的材料形成，且具有一受热变形保持弯曲的硬度，以及悬浮板与共振片的线膨胀系数不同，以让悬浮板与共振片之间之间隙得到一特定变形位移量。

主权项

1.一种流体控制装置，其特征在于，包含：一压电致动器，包括：一悬浮板；一外框，环绕设置于该悬浮板之外侧；至少一支架，连接于该悬浮板与该外框之间；以及一压电元件，具有不大于该悬浮板边长的边长，贴附于该悬浮板上；以及一壳体，包括：一出口板，周缘具有一侧壁及一板件以构成一容置空间的一框体结构，供该压电致动器设置于该容置空间中；以及一底座，包括一入口板及一共振片所构成，罩盖于该出口板的该容置空间中，以封闭该压电致动器，该入口板具有相连通于外的一汇流腔室，该共振片设置固定于该入口板上，并具有一中空孔洞，相对于该入口板的该汇流腔室；以及一胶体，设置于该压电致动器的该外框与该底座的该共振片之间，以维持该压电致动器与该底座的该共振片之间具有一间隙；其中，该悬浮板由具有线膨胀系数比压电元件的线膨胀系数小的材料形成，且具有一受热变形保持弯曲的硬度，以及该悬浮板与该共振片的线膨胀系数不同，以让该悬浮板与该共振片之间的该间隙得到一最大性能与流量的变形位移量。