[发明专利]流体控制装置

权利要求书

1.一种流体控制装置，其特征在于，包含：

一压电致动器，包括：

一悬浮板；

一外框，环绕设置于该悬浮板之外侧；

至少一支架，连接于该悬浮板与该外框之间；以及

一压电元件，具有不大于该悬浮板边长的边长，贴附于该悬浮板上；以及

一壳体，包括：

一出口板，周缘具有一侧壁及一板件以构成一容置空间的一框体结构，供该压电致动器设置于该容置空间中；以及

一底座，包括一入口板及一共振片所构成，罩盖于该出口板的该容置空间中，以封闭该压电致动器，该入口板具有相连通于外的一汇流腔室，该共振片设置固定于该入口板上，并具有一中空孔洞，相对于该入口板的该汇流腔室；以及

一胶体，设置于该压电致动器的该外框与该底座的该共振片之间，以维持该压电致动器与该底座的该共振片之间具有一间隙；

其中，该悬浮板由具有线膨胀系数比压电元件的线膨胀系数小的材料形成，且具有一受热变形保持弯曲的硬度，以及该悬浮板与该共振片的线膨胀系数不同，且在常温非作动状态下该共振片和该悬浮板分别朝不同方向翘曲，该共振片朝向远离悬浮板侧呈凸状翘曲，以让该悬浮板与该共振片之间的该间隙得到一最大性能与流量的变形位移量。

2.如权利要求1所述流体控制装置，其特征在于，该悬浮板为不锈钢材质，具有310HV至350HV硬度为最佳。

3.如权利要求2所述流体控制装置，其特征在于，该悬浮板受热变形后让悬浮板与该共振片之间保持在20至25μm变形位移量，以提供流体控制装置输出气压为300至400mmHg，流率为90至160ml/min。

4.如权利要求1所述流体控制装置，其特征在于，该悬浮板为不锈钢材质，具有370HV-410HV硬度。

5.如权利要求4所述流体控制装置，其特征在于，该悬浮板受热变形后该悬浮板与该共振片之间保持在15～17μm变形位移量，以提供该流体控制装置输出气压为300至400mmHg，流率为50至100ml/min。

6.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，该悬浮板为正方形型态。

7.如权利要求6所述的流体控制装置，其特征在于，该悬浮板的边长介于4mm至10mm之间。

8.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，该压电元件的驱动频率为27至29.5kHz。

9.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，该悬浮板由线膨胀系数比电元件线膨胀系数小材料形成，在该胶体加热加压接合后，在常温下，因该压电元件及该悬浮板的线膨胀系数不同而使该悬浮板朝该压电元件侧呈凸状翘曲。

10.如权利要求9所述的流体控制装置，其特征在于，该悬浮板与该共振片的线膨胀系数不同，在该胶体加热加压接合后，在常温下，使该共振片朝向远离该悬浮板侧呈凸状翘曲。

11.如权利要求1所述流体控制装置，其特征在于，该胶体为导电胶。

12.如权利要求1所述流体控制装置，其特征在于，该入口板具有至少一进入孔，贯穿该入口板的上下表面，以及该入口板上具有至少一汇流排槽，每一该汇流排槽对应连通该至少一进入孔而设置，于该汇流排槽的中心交流处具有一汇流腔室，且该汇流腔室与该至少一汇流排槽相连通，借此可将自该至少一进入孔进入该至少一汇流排槽的流体引导并汇流集中至该汇流腔室。

13.如权利要求1所述流体控制装置，其特征在于，该悬浮板上具有一凸部，对应到该共振片的该中空孔洞。

14.如权利要求1所述流体控制装置，其特征在于，该共振片对应于该汇流腔室为一可动部，而固定粘接于该底座部分为一固定部。

15.权利要求1所述流体控制装置，进一步包括两绝缘片及一导电片，其特征在于，该两绝缘片为上下夹设该导电片而设置，依序将该出口板、该绝缘片、该导电片、另一该绝缘片、该压电致动器以及该底座向上堆叠组装粘固，并容设于该出口板的该容置空间内，构成该流体控制装置。