[发明专利]微型流体控制装置

摘要

一种微型气体传输装置，包括堆叠设置的进气板、共振片以及压电致动器，其中进气板具有至少一进气孔、至少一汇流排孔及构成一汇流腔室的一圆形凹部；共振片具有中空孔洞；压电致动器具有悬浮板、外框及压电陶瓷板；其中悬浮板具有与圆型凹部对应的一圆形凸部，借由改变圆形凹部与圆形凸部之间的对应关系所形成传输气压的工作特性关系比值，进而提升其传输的气压流量、改善微型气体传输装置性能。

主权项

1.一种微型流体控制装置，其特征在于，包括：一进气板，具有一进气表面及一相对该进气表面的接合表面，该进气表面设有至少一进气孔，该接合表面分别凹设有一圆形凹部及至少一汇流排孔，该圆形凹部具有一第一直径，该汇流排孔的一端与该圆形凹部相连通，该汇流排孔的另一端与该至少一进气孔相连通，气体由该至少一进气孔导入，并通过该至少一汇流排孔将气体汇流至该圆形凹部所构成的一汇流腔室；一共振片，具有一中空孔洞，对应该进气板的该圆形凹部；以及一压电致动器，具有：一悬浮板，具有相对的一第一表面及一第二表面，该第二表面具有一圆形凸部，该圆形凸部与该进气板的该接合表面的该圆形凹部垂直设置，该圆形凸部具有一第二直径，该圆形凸部的该第二直径与该圆形凹部的该第一直径相互对应形成，并具有一气体传输气压的工作特性关系比值；一外框，环绕设置于该悬浮板的周边；至少一支架，连接于该悬浮板及该外框之间；以及一压电板，贴附于该悬浮板的该第一表面；其中，上述的该压电致动器、该共振片及该进气板依序对应对叠设置定位，且该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一第一腔室，以使该压电致动器受驱动时，气体由该进气板的该至少一进气孔导入，经该至少一汇流排孔汇集至该圆形凹部，再流经该共振片的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，再由该压电致动器的该至少一支架之间的一空隙向下传输，以持续推出气体。