[发明专利]微型流体控制装置

权利要求书

1.一种微型流体控制装置，其特征在于，包括：

一进气板，具有一进气表面及一相对该进气表面的接合表面，该进气表面设有至少一进气孔，该接合表面分别凹设有一圆形凹部及至少一汇流排孔，该圆形凹部具有一第一直径，该汇流排孔的一端与该圆形凹部相连通，该汇流排孔的另一端与该至少一进气孔相连通，气体由该至少一进气孔导入，并通过该至少一汇流排孔将气体汇流至该圆形凹部所构成的一汇流腔室；

一共振片，具有一中空孔洞，对应该进气板的该圆形凹部；以及

一压电致动器，具有：

一悬浮板，具有相对的一第一表面及一第二表面，该第二表面具有一圆形凸部，该圆形凸部与该进气板的该接合表面的该圆形凹部垂直设置，该圆形凸部具有一第二直径，该圆形凸部的该第二直径与该圆形凹部的该第一直径相互对应形成，并具有一气体传输气压的工作特性关系比值，该工作特性关系比值为该圆形凹部的该第一直径与该圆形凸部的该第二直径的比例，该工作特性关系比值为介于0.95至1.15之间；

一外框，环绕设置于该悬浮板的周边；

至少一支架，连接于该悬浮板及该外框之间；以及

一压电板，贴附于该悬浮板的该第一表面；

其中，上述的该压电致动器、该共振片及该进气板依序对应对叠设置定位，且该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一第一腔室，以使该压电致动器受驱动时，气体由该进气板的该至少一进气孔导入，经该至少一汇流排孔汇集至该圆形凹部，再流经该共振片的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，再由该压电致动器的该至少一支架之间的一空隙向下传输，以持续推出气体。

2.如权利要求1所述的微型流体控制装置，其特征在于，该工作特性关系比值为0.95至1.15之间时，其构成气体传输气压超过380mmHg以上。

3.如权利要求1所述的微型流体控制装置，其特征在于，该工作特性关系比值为介于1至1.1之间。

4.如权利要求3所述的微型流体控制装置，其特征在于，该工作特性关系比比值为1至1.1之间时，其构成气体传输气压超过410mmHg以上。

5.如权利要求1或3所述的微型流体控制装置，其特征在于，该悬浮板与该压电板皆为正方形结构。

6.如权利要求5所述的微型流体控制装置，其特征在于，该悬浮板的边长略长于该压电板的边长。

7.如权利要求5所述的微型流体控制装置，其特征在于，该悬浮板的边长为8mm至9mm。

8.如权利要求7所述的微型流体控制装置，其特征在于，该压电板的边长为7.5mm至8.5mm。

9.如权利要求5所述的微型流体控制装置，其特征在于，该悬浮板的边长为7.5mm。

10.如权利要求9所述的微型流体控制装置，其特征在于，该压电板的边长为7mm。

11.如权利要求1所述的微型流体控制装置，其特征在于，该圆形凸部其高度介于0.02mm至0.08mm之间。

12.如权利要求11所述的微型流体控制装置，其特征在于，该圆形凸部的高度为0.03mm。

13.如权利要求1所述的微型流体控制装置，其特征在于，该圆形凹部其深度为0.2mm至0.4mm之间。

14.如权利要求1或13所述的微型流体控制装置，其特征在于，该汇流腔室的深度与该至少一汇流排孔的深度相同。

15.如权利要求1所述的微型流体控制装置，其特征在于，更包括至少一绝缘片及一导电片，且该至少一绝缘片及该导电片依序设置于该压电致动器之下。

16.一种微型流体控制装置，其特征在于，包括：

一进气板，具有一进气表面及一相对该进气表面的接合表面，该进气表面设有至少一进气孔，该接合表面分别凹设有一圆形凹部及至少一汇流排孔，该圆形凹部具有一第一直径；

一共振片，具有一中空孔洞，对应该进气板的该圆形凹部；以及

一压电致动器，至少具有：

一悬浮板，具有相对的一第一表面及一第二表面，该第二表面具有一圆形凸部，该圆形凸部与该进气板接合表面的圆形凹部垂直设置，该圆形凸部具有一第二直径，该圆形凸部的该第二直径与该圆形凹部的该第一直径相互对应形成，并具有一气体传输气压的工作特性关系比值，该工作特性关系比值为该圆形凹部的该第一直径与该圆形凸部的该第二直径的比例，该工作特性关系比值为介于0.95至1.15之间；

一压电板，贴附于该悬浮板的该第一表面；

其中，上述的该压电致动器、该共振片及该进气板依序对应对叠设置定位。