[发明专利]样本的观察方法有效
| 申请号： | 201680083602.5 | 申请日： | 2016-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN108780054B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 仲野靖孝;中泽英子 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251;G01N23/2202 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 宋俊寅;张鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 作为观察样本的装置，考虑有例示为扫描型电子显微镜、透射型电子显微镜的所谓带电粒子束装置。本申请的发明人通过深入研究，发现了在实施了产生气泡的处理后的液体的带电粒子束图像中未显现作业人员能够确定微小气泡的程度的对比度的问题。本申请的发明人发现了在包含实施了产生气泡的处理后的液体和离子液体在内的样本的带电粒子束图像中会显现作业人员能够确定微小气泡的程度的对比度的现象。本发明的一个特征在于利用该现象。根据本发明，能够确认液体中的气泡、例如微小气泡。 | ||
| 搜索关键词： | 样本 观察 方法 | ||
【主权项】：
1.一种样本的观察方法，其特征在于，包括拍摄工序，该拍摄工序获得包含实施了产生气泡的处理后的液体和离子液体在内的样本的带电粒子束图像。
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