[发明专利]样本的观察方法

权利要求书

1.一种样本的观察方法，其特征在于，

包括拍摄工序，该拍摄工序获得包含实施了产生气泡的处理后的离子液体在内的样本的带电粒子束图像，

所述拍摄工序包括所述样本的气泡的原位观察工序，

所述原位观察工序包括：

循环工序，该循环工序通过循环机构中包含的流路使所述样本循环以用于观察所述气泡随时间的移动；以及

测量工序，该测量工序获得所述带电粒子束图像中的规定区域的尺寸，

在所述规定区域，所述离子液体吸附于所述气泡的表面，和/或所述离子液体替换所述气泡，从而利用所述离子液体的对比度使得所述规定区域相比其周围要暗。

2.如权利要求1所述的样本的观察方法，其特征在于，

包括封入工序，该封入工序将所述样本封入包含对于带电粒子而言透明的部分的容器中，所述封入工序在所述拍摄工序之前进行。

3.如权利要求1所述的样本的观察方法，其特征在于，

所述离子液体包含阳离子、以及阴离子。

4.如权利要求1所述的样本的观察方法，其特征在于，

所述气泡是气泡直径在数10微米以下的微细气泡。

5.如权利要求1所述的样本的观察方法，其特征在于，

所述拍摄工序包括动态图像获取工序，该动态图像获取工序获得所述样本的动态图像。

6.如权利要求1所述的样本的观察方法，其特征在于，

所述原位观察工序包括电压施加工序，该电压施加工序对所述样本施加电压。

7.如权利要求1所述的样本的观察方法，其特征在于，

所述原位观察工序包括温度控制工序，该温度控制工序变更所述样本的温度。

8.如权利要求1所述的样本的观察方法，其特征在于，

所述原位观察工序包括介质供给工序，该介质供给工序对所述样本提供介质。

9.如权利要求1所述的样本的观察方法，其特征在于，

所述带电粒子束图像是透射电子图像。

10.如权利要求1所述的样本的观察方法，其特征在于，

所述带电粒子束图像是扫描电子显微镜图像。

11.一种样本的观察方法，其特征在于，

包括拍摄工序，该拍摄工序获得包含可产生气泡的离子液体在内的样本的带电粒子束图像，

所述拍摄工序包括所述样本的气泡的原位观察工序，并且

所述原位观察工序包括：

循环工序，该循环工序通过循环机构中包含的流路使所述样本循环以用于观察所述气泡随时间的移动；以及

测量工序，该测量工序获得所述带电粒子束图像中的规定区域的尺寸，

在所述规定区域，所述离子液体吸附于所述气泡的表面，和/或所述离子液体替换所述气泡，从而利用所述离子液体的对比度使得所述规定区域相比其周围要暗。