[发明专利]蒸镀掩膜、蒸镀掩膜用掩膜构件及蒸镀掩膜的制造方法有效
| 申请号： | 201680083294.6 | 申请日： | 2016-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN108934170B | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 竹井日出夫;崎尾进;岸本克彥 | 申请（专利权）人： | 鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;B23K26/36 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 汪飞亚;薛晓伟 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 提供可以完全除去开口部内的树脂膜的蒸镀掩膜、其制造方法及蒸镀掩膜用掩膜构件。在树脂膜(11)的一侧配置用于形成开口部(11a)图案的激光的照射源，在树脂膜(11)的另一侧设置反射从激光的照射源照射的激光的波长的光的反射膜(30)，通过反射膜(30)反射的激光被利用于树脂膜(11)的开口部(11a)的图案形成。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩膜 蒸镀掩膜用掩膜 构件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀掩膜的制造方法，是具有形成开口部图案的树脂膜的蒸镀掩膜的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：所述树脂膜的一侧，配置用于形成所述开口部图案的激光的照射源；所述树脂膜的另一侧，设置反射从所述激光的照射源照射的激光的波长的光的反射膜；以及通过所述反射膜反射的激光利用于所述树脂膜的开口部图案的形成。
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