[发明专利]用于晶片的晶片舟及等离子体处理设备

摘要

本发明涉及一种用于晶片舟的板组件，晶片舟用于对片状晶片，特别是针对半导体或光伏用途的半导体晶片，进行等离子体处理。板组件导电且在每一面上皆具至少一用于将晶片容置在晶片容置区域中的容置单元。板组件具有至少一处于板组件的至少一面中的凹部和/或至少一处于板组件中的开口，其中至少一凹部和/或至少一开口在板组件中至少部分径向地处于晶片容置区域外部且与其紧邻。本文也描述了一种晶片舟，其具有数个彼此平行配置的上述的板组件，其中相邻配置的板组件彼此电绝缘。本发明也涉及以与等离子体处理设备相结合的晶片舟，等离子体处理设备具有用于容置晶片舟的制程腔，用于以开环或闭环方式控制制程腔中的制程气体气氛的构件及至少一电压源，电压源可以合适的方式与晶片舟的导电板组件连接，以便在紧邻的容置在晶片舟中的晶片之间施加电压。

主权项

1.一种用于晶片舟的板元件，所述晶片舟用于对片状晶片，特别是针对半导体或光伏用途的半导体晶片，进行等离子体处理，其中所述板元件导电且在每一面上皆具有用于将晶片容置在晶片容置区域中的至少一容置单元，处于所述板元件的至少一面中的至少一凹部和处于所述板元件中的至少一开口中的至少其中之一，其中至少一所述凹部和至少一所述开口中的至少其中之一在所述板元件中至少部分径向地处于所述晶片容置区域外部且与所述晶片容置区域紧邻。