[发明专利]气体流动路径中的颗粒测量装置在审
| 申请号： | 201680075611.X | 申请日： | 2016-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN108431578A | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | R·默特;R·施蒂希 | 申请（专利权）人： | 特斯托欧洲股份两合公司 |
| 主分类号： | G01N15/06 | 分类号： | G01N15/06 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 吕晨芳 |
| 地址： | 德国伦*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于探测气体流动路径(3)中的颗粒流(2)的颗粒的测量装置(1)，其具有电离级(10)，所述电离级具有电离装置(11)，借助电离装置电离或能够电离待检测的颗粒。测量装置(1)还具有测量级(20)，所述测量级具有检测机构(21)，检测机构检测颗粒流(2)的被电离的颗粒，其中检测机构(21)具有至少一个电极(22)，颗粒将在电离装置(11)处吸收的电荷释放到所述电极上，其中被释放的电荷能经由连接在所述至少一个电极(22)上的电阻(23、30)测量。为了提供有利的不易出故障的可靠的测量装置(1)，检测机构的所述至少一个电极构造成微系统。为了改善电离后的气体承载的电荷的测量，过滤衬底的孔金属化地构成并且与电阻电连接。 | ||
| 搜索关键词： | 电离 电极 测量装置 电离装置 电荷 测量级 颗粒流 电阻 测量 颗粒测量装置 气体流动路径 电荷释放 流动路径 探测气体 电连接 金属化 微系统 检测 衬底 过滤 承载 释放 吸收 | ||
【主权项】：
1.用于探测气体流动路径(3)中的颗粒流(2)的颗粒的测量装置，所述测量装置具有电离级(10)和测量级(20)，所述电离级具有电离装置(11)，借助电离装置电离或能够电离待检测的颗粒，所述测量级具有检测机构(21)，检测机构检测颗粒流(2)的被电离的颗粒，其中，检测机构(21)具有至少一个电极(22)，颗粒将在电离装置(11)处吸收的电荷在所述电极上释放，其中，被释放的电荷能经由连接在所述至少一个电极(22)上的电阻(23、30)测量，其特征在于，检测机构(21)的所述至少一个电极(22)构造成微系统。
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