[发明专利]气体流动路径中的颗粒测量装置

权利要求书

1.用于探测气体流动路径(3)中的颗粒流(2)的颗粒的测量装置，所述测量装置具有电离级(10)和测量级(20)，所述电离级具有电离装置(11)，借助电离装置电离或能够电离待检测的颗粒，所述测量级具有检测机构(21)，检测机构检测颗粒流(2)的被电离的颗粒，其中，检测机构(21)具有至少一个电极(22)，颗粒将在电离装置(11)处吸收的电荷在所述电极上释放，其中，被释放的电荷能经由连接在所述至少一个电极(22)上的电阻(23、30)测量，其特征在于，检测机构(21)的所述至少一个电极(22)构造成微系统。

2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述检测机构(21)构造有多个电极(22)，尤其是构造有两个电极(22)。

3.根据权利要求1或2所述的测量装置，其特征在于，所述电阻(23、30)构造成微系统。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的测量装置，其特征在于，所述至少一个电极(22)设计成壁状结构的导电的、尤其是金属的覆层(7)，尤其是，所述壁状结构通过多孔的过滤衬底(27、28)形成，所述过滤衬底设置在气体流动路径(3)中并且被颗粒流(2)穿流或能够被颗粒流穿流。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的测量装置，其特征在于，过滤衬底(27、28)的孔金属化地构成并且与所述电阻(23、30)电连接。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的测量装置，其特征在于，测量级(20)的检测机构(21)构造有至少一个具有一个孔径的孔的过滤衬底(27、28)或者构造有多个具有不同孔径的衬底(27、28)，和/或测量级(20)的检测机构(21)构造在测量室(31)中，尤其是在构造成微系统的和/或通过结构化至少一个衬底(4、27、28)而形成的测量室(31)中。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的测量装置，其特征在于，检测机构(21)包括至少两个设置在气体流动路径(3)中的、具有不同孔径的孔的电极(22)，所述电极配设给不同的过滤衬底(27、28)，其中，所述电极(22)在气体流动路径(3)中并排地或优选相继地设置，尤其是在具有两个相继设置的电极(22)的测量装置(1)中，具有较大孔径的过滤衬底(27)的电极(22)位于另一电极(22)的上游。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的测量装置，其特征在于，具有其各自的过滤衬底(27、28)的多个电极(22)在气体流动路径(3)中相继或并排设置地相邻并且在此彼此贴靠，必要时间隔开、尤其是借助于绝缘层(29)间隔开。

9.根据上述权利要求中任一项所述的测量装置，其特征在于，为检测机构(21)的每个电极(22)配设评估电子装置，所述评估电子装置与电极(22)一起设置在设有所述电极的承载衬底(4)上。

10.根据上述权利要求中任一项所述的测量装置，其特征在于，电离装置(11)构造成微系统。

11.根据上述权利要求中任一项所述的测量装置，其特征在于，电离装置(11)构造有至少一个设置在电离区域中的电离线(13)，其中，电离线(13)施加在承载衬底(4)上和/或露出，尤其是，电离线(13)在构造在承载衬底(4)中的凹部(5)上方铺设或引导，和/或位于包围所述电离线的电离室(16)中。

12.根据上述权利要求中任一项所述的测量装置，其特征在于，电离装置(11)和检测机构(21)设置在不同的衬底(4、27、28)上，所述检测机构具有一个或多个电极(22)以及必要时具有至少一个评估电子装置，和/或电离室(16)通过结构化至少一个衬底(4、27、28)而形成。