[发明专利]压力传感器和压力传感器的操作方法有效
| 申请号： | 201680073747.7 | 申请日： | 2016-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN108474703B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 马克斯·耶勒;马克·安德烈亚斯·施拉赫特尔;达维德·帕罗托 | 申请（专利权）人： | 恩德莱斯和豪瑟尔欧洲两合公司 |
| 主分类号： | H01L29/84 | 分类号： | H01L29/84 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 张焕生;戚传江 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及用于测定压力测量变量的压力传感器(1)，包括至少一个壳体(2)、布置在壳体(2)中的压力传感器元件(3)、同样布置在壳体(2)中的照明装置(4)和控制/分析单元(8)。压力传感器元件(3)具有半导体材料和测量膜，并且第一压力(p |
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| 搜索关键词： | 压力传感器 操作方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于测定压力测量变量的压力传感器(1)，包括至少一个壳体(2)、布置在所述壳体(2)中的压力传感器元件(3)、同样布置在所述壳体(2)中的照明装置(4)和控制/评估单元(8)，其中所述压力传感器元件(3)具有半导体材料和测量膜，其中第一压力(p1)供应到所述测量膜(5)的第一侧，并且第二压力(p2)供应到所述测量膜(5)的第二侧，所述测量膜(5)经历压力相关的偏转，其中所述测量膜(5)具有至少一个集成的电阻元件(6)，并且所述控制/评估单元(8)借助于所述集成的电阻元件(6)确定用于压力测量变量测定的电信号(10)，其中，所述照明装置(4)提供压力传感器元件(3)的光学激发，并且所述控制/评估单元(8)基于由所述光学激发引起的所述电信号(10)的变化，确定存在于所述第一和/或第二压力中的统计压力值，并且借助于所述统计压力值执行所述压力测量变量的校正或补偿。
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