[发明专利]压力传感器和压力传感器的操作方法

权利要求书

1.一种用于测定压力测量变量的压力传感器(1)，包括至少一个壳体(2)、布置在所述壳体(2)中的压力传感器元件(3)、同样布置在所述壳体(2)中的照明装置(4)和控制/评估单元(8)，其中所述压力传感器元件(3)具有半导体材料和测量膜，其中第一压力(p₁)供应到所述测量膜(5)的第一侧，并且第二压力(p₂)供应到所述测量膜(5)的第二侧，所述测量膜(5)经历压力相关的偏转，其中所述测量膜(5)具有至少一个集成的电阻元件(6)，并且所述控制/评估单元(8)借助于所述集成的电阻元件(6)确定用于压力测量变量测定的电信号(10)，其中，所述照明装置(4)提供压力传感器元件(3)的光学激发，并且所述控制/评估单元(8)被布置为基于由所述光学激发引起的所述电信号(10)的变化来确定存在于所述第一和/或第二压力中的统计压力值，所述变化表示有所述光学激发的电信号和没有所述光学激发的电信号之间的差异，并且所述控制/评估单元(8)进一步被布置为借助于所确定的统计压力值执行所述压力测量变量的校正或补偿。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其中，所述光学激发包括多个单独的光学脉冲。

3.根据前述权利要求1或2所述的压力传感器，其中，所述测量膜(5)具有附加的集成电阻元件(6)，并且为每个附加的电阻元件(6)提供照明装置(4)。

4.根据前述权利要求1或2所述的压力传感器，其中，所述照明装置(4)是发光二极管。

5.根据前述权利要求1或2所述的压力传感器，其中，所述光学激发周期性地发生，并且其中，在两个周期期间，所述控制/评估单元(8)使用最后确定的统计压力值来校正或补偿。

6.一种用于操作压力传感器(1)的方法，该压力传感器是在前述权利要求之一所述的压力传感器，其中，所述压力传感器(1)包括具有半导体材料和测量膜(5)的压力传感器元件(3)，在所述测量膜的第一侧上供应第一压力(p₁)，并且在所述测量膜的第二侧上供应第二压力(p₂)，其中，所述方法包括如下步骤：

-对所述压力传感器元件进行光学激发(100)；

-记录由所述光学激发引起的电信号的变化(101)，所述变化表示有所述光学激发的电信号和没有所述光学激发的电信号之间的差异；

-基于所述电信号的所述变化确定统计压力值(102)；

-基于所述统计压力值来校正或补偿压力传感器所确定的压力测量变量(103)。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，多个单独的光脉冲被用于进行光学激发(100)，并且为了记录电信号的变化而记录多个单独的电信号值。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，通过对记录的多个单独的电信号值求平均值来确定电信号(10)的变化。

9.根据权利要求6至8中的任一项所述的方法，其中，在测量操作期间周期性地执行所述光学激发(100)。

10.根据权利要求6至8中的任一项所述的方法，其中通过查找表和/或数学公式来执行所述校正或补偿。