[发明专利]具有腔体压力监视的双密封MEMS封装有效
| 申请号： | 201680072079.6 | 申请日： | 2016-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN108369098B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | L·科罗纳托;G·加弗埃力;A·吉埃巴斯蒂阿尼 | 申请（专利权）人： | 应美盛股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5769 | 分类号： | G01C19/5769;G01P15/08;G01C19/5726;B81B7/00 |
| 代理公司： | 11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 欧阳帆 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种微机电传感器(MEMS)封装包括陀螺仪和加速度计。陀螺仪位于相对于外部压力被密封的低压腔体内。加速度计位于腔体内，并且用于加速度计腔体的密封件完全位于陀螺仪腔体内。在正常操作条件下，加速度计密封件将加速度计腔体保持在比封住陀螺仪腔体的压力更高的压力下。在陀螺仪密封件或加速度计密封件中的一个破损的情况下，陀螺仪感测到压力的变化。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度计 陀螺仪 密封件 腔体 体内 封装 微机电传感器 正常操作条件 腔体压力 外部压力 低压腔 双密封 感测 密封 破损 监视 | ||
【主权项】：
1.一种多传感器微机电传感器MEMS封装，包括：/n陀螺仪，被配置为测量围绕一个或多个旋转轴的角速度，所述陀螺仪包括：/n多个陀螺仪可移动质块；/n一个或多个驱动电极，用于驱动所述多个陀螺仪可移动质块中的一个或多个陀螺仪可移动质块，其中所述一个或多个驱动电极由驱动电压驱动；以及/n一个或多个陀螺仪感测电极，用于基于陀螺仪感测电极的感测电压来感测所述多个陀螺仪可移动质块中的一个或多个陀螺仪可移动质块的移动；/n加速度计，被配置为测量沿着一个或多个轴的线加速度，所述加速度计包括：/n一个或多个加速度计可移动质块；以及/n一个或多个加速度计感测电极，用于感测所述一个或多个加速度计可移动质块的移动；/n加速度计密封环，所述加速度计密封环封住所述加速度计，其中所述加速度计密封环为所述加速度计密封环内的加速度计腔体提供加速度计压力；/n陀螺仪密封环，所述陀螺仪密封环封住所述陀螺仪和整个加速度计密封环，其中所述陀螺仪密封环为所述陀螺仪密封环内的陀螺仪腔体提供陀螺仪压力，并且其中所述加速度计密封环在所述加速度计压力与所述陀螺仪压力之间提供屏障；以及/n处理电路系统，被配置为至少基于所述驱动电压或所述感测电压来感测所述陀螺仪腔体内的压力的变化，其中所述处理电路系统被配置为基于压力的变化来修改所述陀螺仪或所述加速度计的操作。/n
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