[发明专利]振动隔离系统和光刻设备有效
| 申请号： | 201680065861.5 | 申请日： | 2016-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN108351602B | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | A·P·J·范兰卡韦尔特;I·A·克尔普;R·S·A·奥斯特费恩;M·H·H·奥德尼惠斯;R·M·G·赖伊斯;O·J·塞伊格尔;A·M·斯滕霍克 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F16F15/02;F16J15/52 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王静 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种振动隔离系统(VIS)，该振动隔离系统包括：基座(10)；用于联接到振动敏感物体的联接元件(20)；布置在基座与联接元件之间的振动隔离器(30‑34)；用于布置在联接元件或振动隔离器与包围振动敏感物体的保护壳体(40)之间的波纹管(50)；和作用在波纹管的回旋上的一个或更多个分离开的阻尼元件。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 隔离 系统 光刻 设备 | ||
【主权项】：
1.一种振动隔离系统，包括：基座；用于联接到振动敏感物体的联接元件；布置在所述基座与所述联接元件之间的振动隔离器；用于布置在所述联接元件或所述振动隔离器与围绕所述振动敏感物体的保护壳体之间的波纹管；和作用在所述波纹管的回旋上的一个或更多个分离开的阻尼元件，其中所述一个或更多个分离开的阻尼元件构造成对于预定的频率范围使包括所述分离开的阻尼元件的波纹管的组合的动态刚度降低到所述振动隔离器的动态刚度以下。
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