[发明专利]用于介电阻挡的等离子处理的电极装置有效
| 申请号： | 201680060536.X | 申请日： | 2016-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN108141947B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | L·特鲁特威格;M·哈恩尔;K-O·施托克;D·万德克;M·科普 | 申请（专利权）人： | 奇诺格有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;A61L2/14 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国杜*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种电极装置，其用于对电导体的用作对电极的表面进行介电阻挡的等离子处理，所述电极装置具有柔性的面式的电极(1)和由面式的柔性的材料构成的电介质(2)，所述电介质以阻挡直接电流流动的层(3)屏蔽所述待处理表面的电极(1)，其中，电介质(2)通过具有一些突出部的结构可以平放在待处理表面上，并且在此在所述突出部之间构造用于形成等离子体的空气空间，由此改善可制造能力，所述结构是由彼此邻接的壁(7，8)构成的格栅结构(6)，这些壁限界大量的构成所述空气空间的腔室(9)，并且所述腔室(9)具有由所述电介质(2)的阻挡直接电流流动的层(3)形成的底侧封闭部和朝向进行处理的表面的开放侧，所述侧在待处理表面处的贴靠面由所述格栅结构(6)的壁(7，8)的末端棱边(10)构成。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 阻挡 等离子 处理 电极 装置 | ||
【主权项】：
一种电极装置，其用于对电导体的用作对电极的表面进行介电阻挡的等离子处理，所述电极装置具有柔性的面式的电极(1)和由面式的柔性的材料构成的电介质(2)，所述电介质以阻挡直接电流流动的层(3)遮蔽所述电极(1)，使其免受待处理表面影响，其中，所述电介质(2)通过具有一些突出部的结构能够平放在待处理表面上并且在此在所述突出部之间构造有用于形成等离子体的空气空间，其特征在于，所述结构是由彼此邻接的壁(7，8)构成的格栅结构(6)，这些壁限界大量的构成所述空气空间的腔室(9)，并且所述腔室(9)具有由所述电介质(2)的阻挡直接电流流动的层(3)形成的底侧封闭部和朝向进行处理的表面的开放侧，所述开放侧的在待处理表面处的贴靠面由所述格栅结构(6)的壁(7，8)的末端棱边(10)构成。
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