[发明专利]含有含长链烷基的酚醛清漆的抗蚀剂下层膜形成用组合物有效
| 申请号： | 201680060001.2 | 申请日： | 2016-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN108139674B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 齐藤大悟;远藤贵文;柄泽凉;坂本力丸 | 申请（专利权）人： | 日产化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11;C08G8/10;C08G12/08;G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 曾祯;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明的课题是提供用于通过提高聚合物的热回流性而改善烧成时对图案的填充性、从而在基板上形成平坦化性高的涂膜的抗蚀剂下层膜形成用组合物。作为本发明的解决问题的方法，涉及：抗蚀剂下层膜形成用组合物，包含芳香族化合物(A)与具有结合于碳原子数2～26的烷基的仲碳原子或叔碳原子的甲酰基的醛(B)反应而得的酚醛清漆树脂。酚醛清漆树脂包含下述式(1)所示的结构单元。 |
||
| 搜索关键词： | 含有 含长链 烷基 酚醛 清漆 抗蚀剂 下层 形成 组合 | ||
【主权项】：
抗蚀剂下层膜形成用组合物，包含由芳香族化合物(A)与醛(B)反应而得的酚醛清漆树脂，所述醛(B)具有结合于碳原子数2～26的烷基的仲碳原子或叔碳原子的甲酰基。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日产化学工业株式会社，未经日产化学工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680060001.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
