[发明专利]处理参数的间接确定有效
| 申请号： | 201680059573.9 | 申请日： | 2016-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN108139686B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 王德胜 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明中公开了一种方法。所述方法包括：从由图案化过程所产生的衬底的一部分测量所述图案化过程的能够直接测量的处理参数的值；获得所述能够直接测量的处理参数与不能够直接测量的处理参数之间的关系；和根据所述能够直接测量的处理参数的所述值和所述关系确定所述不能够直接测量的处理参数的值。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 参数 间接 确定 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：从衬底的由所述图案化过程所产生的一部分测量所述图案化过程的能够直接测量的处理参数的值，所述能够直接测量的处理参数包括是被设计成功能性的器件的部分的特征的特性；获得所述能够直接测量的处理参数与不能够直接测量的处理参数之间的关系；和由计算机系统根据所述能够直接测量的处理参数的所述值和所述关系确定所述不能够直接测量的处理参数的值。
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