[发明专利]具有减少的背侧等离子体点火的喷淋头

摘要

本公开的实施例关于在处理腔室中使用的喷淋头组件。喷淋头组件包括多孔插入件，该多孔插入件布置于气体分配板与底板之间的空间中，以缓和由等离子体点火导致的侵蚀性基团，从而减少腔室中的颗粒问题及金属污染。多孔插入件是诸如金属之类的导电材料，用以减少间隙电场强度，或可以是诸如陶瓷、聚四氟乙烯、聚酰胺酰亚胺或其他在高频及强电场的条件下具有低介电损失及高电场强度的材料之类的介电材料。如此，电击穿阈值被增强。多孔插入件可减少和/或消除喷淋头背侧等离子体点火，且可包括覆盖气体分配板的气孔的多个同心窄环。

主权项

一种在处理腔室中使用的喷淋头组件，包含：气体分配板，所述气体分配板具有多个气孔延伸穿过所述气体分配板的第一表面；底板，所述底板具有至少一或更多气体运送孔延伸穿过所述底板的第一表面，所述底板的第一表面与所述气体分配板的第一表面之间限定一空间；及多孔插入件，所述多孔插入件位于所述空间中，其中穿过所述喷淋头组件的气流路径通过延伸穿过所述底板的所述一或更多气体运送孔、所述多孔插入件、及所述气体分配板的所述气孔来限定。