[发明专利]材料供给装置及蒸镀装置

摘要

本发明的一个方式所涉及的材料供给装置具有材料供给室、熔化炉、至少一个容器、供给单元、以及输送单元。上述材料供给室设置在蒸镀室的外部，构成为能够维持成减压环境。上述熔化炉设置在上述材料供给室，将蒸发材料熔化。上述容器对在上述熔化炉中熔化的上述蒸发材料的熔融液进行收容。上述供给单元安装在上述熔化炉，从上述熔化炉向上述容器供给上述熔融液。上述输送单元构成为能够将从上述供给单元供给并在上述容器内凝固了的上述蒸发材料的铸块连同上述容器一起向上述蒸镀室输送。

主权项

一种材料供给装置，具有：材料供给室，其设置在蒸镀室的外部，能够维持成减压环境；熔化炉，其设置在所述材料供给室，将蒸发材料熔化；至少一个容器，其能够对在所述熔化炉中熔化的所述蒸发材料的熔融液进行收容；供给单元，其安装在所述熔化炉，从所述熔化炉向所述容器供给所述熔融液；以及输送单元，其能够将从所述供给单元供给并在所述容器内凝固了的所述蒸发材料的铸块连同所述容器一起向所述蒸镀室输送。