[发明专利]材料供给装置及蒸镀装置

说明书

本发明的一个方式所涉及的材料供给装置具有材料供给室、熔化炉、至少一个容器、供给单元、以及输送单元。上述材料供给室设置在蒸镀室的外部，构成为能够维持成减压环境。上述熔化炉设置在上述材料供给室，将蒸发材料熔化。上述容器对在上述熔化炉中熔化的上述蒸发材料的熔融液进行收容。上述供给单元安装在上述熔化炉，从上述熔化炉向上述容器供给上述熔融液。上述输送单元构成为能够将从上述供给单元供给并在上述容器内凝固了的上述蒸发材料的铸块连同上述容器一起向上述蒸镀室输送。

技术领域

本发明涉及用于向蒸发源供给蒸发材料的材料供给装置以及具有该材料供给装置的蒸镀装置。

背景技术

已知有一种使蒸发材料(也称为蒸镀材料)的蒸气沉积在基板上而在基板上形成例如金属膜的真空蒸镀装置。对于真空蒸镀装置的蒸发源，已知有电阻加热式、感应加热式、电子束加热式等各种方式，通过加热或电子束照射使收容在坩埚内的蒸发材料熔融并蒸发，从而生成蒸发材料的蒸气。

在蒸镀装置中，从生产率的观点出发，已知有一种构成为能够在将蒸镀室内维持为规定的减压环境的状态下向坩埚间歇地或连续地供给蒸发材料的蒸镀装置。例如在专利文献1中公开了一种向坩埚间歇地(每隔固定时间)供给成型为颗粒状的蒸发材料的技术，在专利文献2中公开了一种向坩埚连续地供给形成为线状的蒸发材料的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平5-128518号公报；

专利文献2：日本特开平7-286266号公报。

发明内容

发明要解决的课题

然而，在向坩埚供给颗粒状的蒸发材料的方法中，由于基本上是间歇供给，所以蒸发率容易改变，因此存在难以形成膜厚均匀的金属膜的问题。此外，在向坩埚供给线状的蒸发材料的方法中，虽然可连续供给而能够抑制蒸发率的改变，但存在材料难以加工成线状的情况下成本变高的问题。

鉴于上述这种情况，本发明的目的在于提供一种无需对蒸发材料的形状进行加工且能够不改变蒸发率地向蒸镀室供给蒸发材料的材料供给装置以及具有该材料供给装置的蒸镀装置。

用于解决课题的方案

为了实现上述目的，本发明的一个方式所涉及的材料供给装置具有材料供给室、熔化炉、至少一个容器、供给单元、以及输送单元。

上述材料供给室设置在蒸镀室的外部，构成为能够维持成减压环境。

上述熔化炉设置在上述材料供给室，将蒸发材料熔化。

上述容器对在上述熔化炉中熔化的上述蒸发材料的熔融液进行收容。

上述供给单元安装在上述熔化炉，从上述熔化炉向上述容器供给上述熔融液。

上述输送单元构成为能够将从上述供给单元供给并在上述容器内凝固了的上述蒸发材料的铸块连同上述容器一起向上述蒸镀室输送。

在上述材料供给装置中，由于材料供给室构成为能够维持成减压环境，所以能够不向大气开放蒸镀室而将蒸发材料向蒸镀室输送。

此外，向蒸镀室输送的蒸发材料是在熔融液状态下从熔化炉被供给到容器并且在该容器内凝固成的铸块，连同容器一起向蒸镀室被输送，在该状态下在蒸镀室被再次加热而蒸发。因此，无需对蒸发材料的形状进行加工，即使是比较软的金属材料也能够作为蒸发材料而稳定地供给。

进而，由于蒸发材料是以容器为单位来输送的，所以能够不改变蒸发率而向蒸镀室供给蒸发材料。

而且，始终在真空中进行蒸发材料的熔化、向容器内的供给、向蒸镀室的输送。因此，能够防止由蒸发材料的氧化、水分的附着导致的劣化等，从而稳定地向蒸镀室供给高品质的蒸发材料。