[发明专利]具有开槽接地板的等离子体模块有效
| 申请号： | 201680052156.1 | 申请日： | 2016-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN108028164B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | J·约德伏斯基;J·C·福斯特;K·贝拉;S·坎德沃尔;M·斯里拉姆;田中启一;K·竹下;N·坂本;T·柳川 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C16/44 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 杨学春;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种等离子体源组件，包括壳体；与壳体电连通的阻隔板，与壳体电连通的阻隔板，该阻隔板具有限定场域的内周边缘、外周边缘、第一侧和第二侧，细长槽在所述场域内并且延伸穿过所述阻隔板，细长槽具有长度与宽度；以及在壳体内的RF热电极，RF热电极具有正面和背面，内周端和外周端，RF热电极的正面与阻隔板隔开以限定间隙。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 开槽 接地 等离子体 模块 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体源组件，包含：壳体；阻隔板，所述阻隔板与所述壳体电连通，所述阻隔板具有限定场域的内周边缘、外周边缘、第一侧、及第二侧，细长槽在所述场域中，并延伸穿过所述阻隔板，所述细长槽具有长度与宽度；以及RF热电极，所述RF热电极在所述壳体中，所述RF热电极具有正面与背面、内周端、及外周端，所述RF热电极的所述正面与所述阻隔板隔开以限定间隙。
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