[发明专利]金属氧化物纳米线的原位生长和催化纳米颗粒修饰

摘要

一种通过具有沉积室和与其连接的聚集室的真空沉积系统制造经纳米颗粒修饰的纳米线的方法，所述方法包括在沉积室中安放金属部件；对氧气气氛下的沉积室中的金属部件进行热氧化，以在金属部件的表面上生长金属氧化物纳米线；在不破坏真空沉积系统的真空的情况下，在与沉积室连接的聚集室中产生催化金属颗粒簇的蒸气；和在不破坏真空沉积系统的真空的情况下，将所产生的催化金属颗粒簇输送到沉积室中，从而以由催化金属颗粒制成的催化金属纳米颗粒对金属氧化物纳米线进行修饰。

主权项

一种通过真空沉积系统制造经纳米颗粒修饰的纳米线的方法，所述真空沉积系统具有沉积室和与所述沉积室连接的聚集室，所述方法包括：在所述沉积室中安放金属部件；对氧气气氛下的所述沉积室中的所述金属部件进行热氧化，以在所述金属部件的表面上生长金属氧化物纳米线；在不破坏所述真空沉积系统的真空的情况下，在与所述沉积室连接的所述聚集室中产生催化金属颗粒簇的蒸气；和在不破坏所述真空沉积系统的真空的情况下，将所产生的催化金属颗粒簇输送到所述沉积室中，从而以由催化金属颗粒制成的催化金属纳米颗粒对所述金属氧化物纳米线进行修饰。