[发明专利]用于带电粒子束装置的分段式检测器有效
| 申请号： | 201680045076.3 | 申请日： | 2016-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN108028161B | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | N·C·巴尔比;R·B·莫特;O·希利 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/28;H01J37/26;H01J37/22;G01N21/64 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈洁;姬利永 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于带电粒子束装置的检测器包含：衬底；提供在所述衬底上的数个第一传感器装置，其中所述第一传感器装置被构造成敏感于由样本弹射的电子，并响应于所述电子而生成第一信号；以及提供在所述衬底上的数个第二传感器装置，其中所述第二传感器装置被构造成敏感于由所述样本发射的光子，并响应于所述光子而生成第二信号。并且，一种光子检测器，其中光子传感器装置中的每一个被构造成敏感于由样本发射的光子，并响应于所述光子而生成信号，且其中所述光子传感器装置中的每一个包括多像素光子计数器装置。此外，一种使用带电粒子束装置对样本进行成像的方法使用射束熄减，并确定所估计衰减时间常数。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 带电 粒子束 装置 段式 检测器 | ||
【主权项】：
1.一种用于带电粒子束装置(1、1′)的检测器(18)，包括：衬底(42)，被构造成安装在所述带电粒子束装置内；数个第一传感器装置(46)，提供在所述衬底上，其中所述第一传感器装置中的每一个被构造成敏感于由样本弹射的电子，并响应于所述电子而生成第一信号；以及数个第二传感器装置(48)，提供在所述衬底上，其中所述第二传感器装置中的每一个被构造成敏感于由所述样本发射的光子，并响应于所述光子而生成第二信号。
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