[发明专利]用于带电粒子束装置的分段式检测器

权利要求书

1.一种用于带电粒子束装置(1、1′)的检测器(18)，包括：

衬底(42)，被构造成安装在所述带电粒子束装置内；

数个第一传感器装置(46)，提供在所述衬底上，其中所述第一传感器装置中的每一个被构造成敏感于由样本弹射的电子，并响应于所述电子而生成第一信号；以及

数个第二传感器装置(48)，提供在所述衬底上，其中所述第二传感器装置中的每一个被构造成敏感于由所述样本发射的光子，并响应于所述光子而生成第二信号，

其中所述检测器是分段式检测器，使得所述第一传感器装置和所述第二传感器装置中的每一个是离散的且可独立地接入。

2.根据权利要求1所述的检测器，其中所述数个第一传感器装置是多个第一传感器装置，且所述数个第二传感器装置是多个第二传感器装置。

3.根据权利要求1所述的检测器，其中所述第一传感器装置中的一个或多个包括多像素光子计数器装置。

4.根据权利要求1所述的检测器，其中所述第二传感器装置中的一个或多个包括多像素光子计数器装置。

5.根据权利要求1所述的检测器，其中所述第一传感器装置中的一个或多个和所述第二传感器装置中的一个或多个包括多像素光子计数器装置。

6.根据权利要求5所述的检测器，其中所述第一传感器装置中的所述一个或多个各自包括光电倍增管上闪烁体装置SoM装置，且所述第二传感器装置中的所述一个或多个各自包括裸多像素光子计数器装置。

7.根据权利要求6所述的检测器，其中所述第一传感器装置中的所述一个或多个各自包括SiPM SoM装置，且所述第二传感器装置中的所述一个或多个各自包括裸SiPM装置。

8.根据权利要求6所述的检测器，其中所述衬底包含延伸穿过所述衬底，以用于允许所述带电粒子束装置的射束穿过所述检测器的穿孔(44)，且其中所述数个第一传感器装置为相对于所述穿孔沿着内半径绕所述穿孔间隔的四个第一传感器装置，且所述数个第二传感器装置为相对于所述穿孔沿着内半径绕所述穿孔间隔的四个第一传感器装置。

9.根据权利要求6所述的检测器，其中每一SoM装置包含光学不透明涂层，以防止所述SoM装置形成对光的响应。

10.根据权利要求1所述的检测器，其中所述衬底包含延伸穿过所述衬底，以用于允许所述带电粒子束装置的射束穿过所述检测器的穿孔(44)，且其中所述数个第一传感器装置和所述数个第二传感器装置绕所述穿孔间隔开。

11.根据权利要求5所述的检测器，其中所述第一传感器装置中的所述一个或多个各自包括SoM装置的阵列，且所述第二传感器装置中的所述一个或多个各自包括裸多像素光子计数器装置的阵列。

12.根据权利要求1所述的检测器，其中所述数个第二传感器装置中的一个或多个各自包含滤光片。

13.根据权利要求12所述的检测器，其中多个所述数个第二传感器装置各自包含滤光片。

14.根据权利要求13所述的检测器，其中每一滤光片导致所述第二传感器装置敏感于相同光谱区域。

15.根据权利要求14所述的检测器，其中所述滤光片导致所述第二传感器装置敏感于不同光谱区域。

16.一种带电粒子束装置，包含根据权利要求1所述的检测器。