[发明专利]压力加热滚压机的制造和使用方法有效
申请号: | 201680044893.7 | 申请日: | 2016-06-24 |
公开(公告)号: | CN108140599B | 公开(公告)日: | 2022-07-15 |
发明(设计)人: | 库石特·索拉布吉 | 申请(专利权)人: | 紫石能源有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 北京东灵通专利代理事务所(普通合伙) 61242 | 代理人: | 王荣 |
地址: | 102208 北京市昌平区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 公开了使用压力和固化来连接多种材料的方法和系统。该方法提供:a)在真空传送机上接收多种材料;b)沿着真空传送机将所接收的多种材料从第一位置传送到第二位置;c)施加预定的真空压力;和d)固化压缩的多种材料。该系统包括用于在第一位置接收多种材料的真空传送机,在第二位置适应性地定位在真空传送机上方的移动带,并且真空传送机和移动带被布置成彼此以预定关系被驱动,用于施加预定真空压力的真空压力源,其产生压缩多种材料的力;以及在第二位置的固化源,用于固化压缩的多种材料。 | ||
搜索关键词: | 压力 加热 滚压机 制造 使用方法 | ||
【主权项】:
一种通过使用压力和固化来连接多种材料的方法,包括:在第一位置处在真空传送机上接收所述多种材料,其中所述真空传送机包括用于预定的真空的多个开口以将所述多种材料保持在所述真空传送机上的适当位置;沿着所述真空传送机将所接收的多种材料从所述第一位置传送到第二位置,其中移动带在所述第二位置处适应性地定位所述真空传送机上方,并且所述真空传送机和所述移动带被布置成彼此以预定的关系被驱动;以及当所述多种材料从所述第二位置传送到第三位置时,从所述多个开口中的至少一个向所述移动带和所述真空传送机施加预定的真空压力,产生压缩所述多种材料的力;以及固化所压缩的多种材料。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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