[发明专利]电子部件的检查装置以及检查方法有效
| 申请号： | 201680042075.3 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN108291934B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 朝仓秀树;藤田建豪;菅野晶夫;前泽信明 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所;株式会社东京威尔斯 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电子部件的检查装置以及检查方法。具备：检查室(20)，检查电子部件(W)；搬运机构(22)，设置于检查室(20)内，进行搬运以便被供给至检查室(20)的电子部件(W)被检查；第一干燥气体供给部(50)，向检查室(20)内的搬运机构(22)的一侧的第一空间(S1)供给干燥气体；第二干燥气体供给部(52)，向检查室(20)内的搬运机构(22)的另一侧的第二空间(S2)供给干燥气体，第一空间(S1)具有第二空间(S2)以上的大小，第二干燥气体供给部(52)的干燥气体供给压力比第一干燥气体供给部(50)的干燥气体供给压力大。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 部件 检查 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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