[发明专利]电子部件的检查装置以及检查方法

说明书

本发明提供一种电子部件的检查装置以及检查方法。具备：检查室(20)，检查电子部件(W)；搬运机构(22)，设置于检查室(20)内，进行搬运以便被供给至检查室(20)的电子部件(W)被检查；第一干燥气体供给部(50)，向检查室(20)内的搬运机构(22)的一侧的第一空间(S1)供给干燥气体；第二干燥气体供给部(52)，向检查室(20)内的搬运机构(22)的另一侧的第二空间(S2)供给干燥气体，第一空间(S1)具有第二空间(S2)以上的大小，第二干燥气体供给部(52)的干燥气体供给压力比第一干燥气体供给部(50)的干燥气体供给压力大。

技术领域

本发明涉及电子部件的检查装置以及检查方法。

背景技术

由于组入有电子部件的电子设备会被用于各种温度环境，所以对较大温度范围进行电子部件是否具备所希望的电特性的检查(参照专利文献1至3)。特别是，在使用了水晶振子等的压电振动器件中，由于在大温度范围内需要良好的频率特性，所以这样的温度特性的检查很重要。

然而，在以往的温度特性的检查中，有潮湿的空气会给电子部件带来不利影响，妨碍准确的检查，并且损害电子部件的可靠性的情况。例如，在低温状态检查电子部件的情况下，有因那样的潮湿的空气而在电子部件、检查装置上产生结露、结霜等情况。

此外，为了保持在规定的温度环境来检查电子部件，考虑在能够维持温度环境的封闭的检查室内检查电子部件的方式，但是为了向这样的检查室供给电子部件，存在例如需要闸门的开闭动作，由于闸门的开放检查室内的温度发生变化，而恢复到规定的温度环境需要时间，整体而言需要花费检查时间的情况。

专利文献1:日本特开2002－214283号公报

专利文献2:日本特开平10－274667号公报

专利文献3:日本特开2006－292590号公报

发明内容

本发明是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于提供一种能够不损害电子部件的可靠性地进行准确的检查的电子部件的检查装置以及检查方法。

本发明的一个侧面的电子部件的检查装置在供给了干燥气体的状态下检查电子部件的温度特性的检查装置，具备：检查室，检查电子部件；搬运机构，设置于检查室内，进行搬运以便被供给至检查室的电子部件被检查；第一干燥气体供给部，向检查室内的搬运机构的一侧的第一空间供给干燥气体；以及第二干燥气体供给部，向检查室内的搬运机构的另一侧的第二空间供给干燥气体，第一空间具有第二空间以上的大小，第二干燥气体供给部的干燥气体供给压力比第一干燥气体供给部的干燥气体供给压力大。

根据上述结构，向检查室的第二空间供给干燥气体的第二干燥气体供给部的干燥气体供给压力比向检查室的第一空间(具有第二空间以上的大小)供给干燥气体的第一干燥气体供给部的干燥气体供给压力大。由此，即使在通过搬运机构将检查室的内部空间分为第一空间和第二空间的情况下，也能够抑制潮湿的空气滞留在一个空间侧。因此，能够不损害电子部件的可靠性地进行准确的检查。

在上述检查装置中，也可以还具备：部件供给路径，用于将电子部件供给至检查室；和抽吸部，从检查室内的抽吸孔抽吸气体以便将电子部件从部件供给路径供给至检查室。

在上述检查装置中，也可以将抽吸部的抽吸孔设置于第二空间侧。

在上述检查装置中，也可以将第二干燥气体供给部的供给孔与抽吸部的抽吸孔邻接地设置。

在上述检查装置中，也可以将部件供给路径与检查室之间在检查装置工作期间一直开放以便能够供给电子部件。

在上述检查装置中，也可以还具备：部件排出路径，用于将电子部件从检查室排出；和吹出部，对检查室内的吹出孔吹出气体以便将电子部件从检查室排出至部件排出路径。

在上述检查装置中，也可以将部件排出路径与检查室之间在检查装置工作期间一直开放以便能够排出电子部件。