[发明专利]金属污染防止剂、金属污染防止膜、金属污染防止方法及制品清洗方法在审
申请号: | 201680041101.0 | 申请日: | 2016-09-12 |
公开(公告)号: | CN107835792A | 公开(公告)日: | 2018-03-23 |
发明(设计)人: | 森田博志;加藤俊正;星重行 | 申请(专利权)人: | 栗田工业株式会社 |
主分类号: | C02F1/42 | 分类号: | C02F1/42;B01J39/04;B01J41/04;B01J47/12;C02F1/44;C02F1/62;H01L21/304 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司72003 | 代理人: | 李英艳,张永康 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种金属污染防止剂,其含有分子量10万以上的聚苯乙烯磺酸等具有离子交换基的聚合物,其可减少产品清洗用的超纯水中微量金属的附着性,抑制清洗对象的金属污染。该具有离子交换基的聚合物是以离子交换反应吸附超纯水中的微量金属而抑制其附着于制品。本发明还提供一种用添加有该金属污染防止剂的超纯水清洗制品的制品清洗方法。优选为使添加有金属污染防止剂的超纯水流过分离膜组件,用膜透过水清洗制品。 | ||
搜索关键词: | 金属 污染 防止 方法 制品 清洗 | ||
【主权项】:
一种金属污染防止剂,将其添加于超纯水用于减少因该超纯水中的微量金属产生的污染性,其特征是,所述金属污染防止剂含有具有离子交换基的聚合物。
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