[发明专利]针对碳化硅超结功率装置的有源区设计在审
申请号: | 201680037599.3 | 申请日: | 2016-06-24 |
公开(公告)号: | CN107810558A | 公开(公告)日: | 2018-03-16 |
发明(设计)人: | P.A.罗西;A.V.博罗特尼科夫;R.甘地 | 申请(专利权)人: | 通用电气公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/16;H01L29/808;H01L29/872;H01L21/337;H01L21/329 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人: | 郑浩,刘春元 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本说明书中公开的主题涉及碳化硅(SiC)功率装置,并且更确切地说,涉及SiC超结(SJ)功率装置的有源区设计。SiC‑SJ装置包括具有一个或多个电荷平衡(CB)层有源区。每个CB层包括具有第一导电型的半导体层和设置在所述半导体层表面中具有第二导电型的多个浮置区。所述多个浮置区和所述半导体层均被配置成大体上耗尽以在反偏压施加至所述SiC‑SJ装置时提供来自离子掺杂剂的大体上等量的电荷。 | ||
搜索关键词: | 针对 碳化硅 功率 装置 有源 设计 | ||
【主权项】:
一种碳化硅(SiC)超结(SJ)装置,包括:有源区,所述有源区包括一个或多个电荷平衡(CB)层,其中每个CB层包括:具有第一导电型的半导体层;以及设置在所述半导体层的表面中具有第二导电型的多个浮置区,其中所述多个浮置区和所述半导体层均被配置成大体上耗尽,以在反偏压施加至所述SiC‑SJ装置时提供来自离子掺杂剂的大体上等量的电荷。
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