[发明专利]设备及利用发光二极管加热的静电夹具有效
| 申请号： | 201680037201.6 | 申请日： | 2016-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN107810547B | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 杰森·M·夏勒;威廉·T·维弗;摩根·D·艾文斯;罗伯特·布然特·宝佩特;保罗·E·佩敢堵;朱利安·G·布雷克;大卫·伯拉尼克;阿拉·莫瑞迪亚 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示一种设备及利用发光二极管加热的静电夹具。所述利用LED加热的静电夹具包括包含LED加热器的第一子组合件和包括静电夹具的第二子组合件。所述LED衬底加热器子组合件包含具有凹部的基底。多个发光二极管LED安置在所述凹部内。所述LED可为GaN或GaP LED，其在容易由硅吸收的波长处发光，因此有效且快速地加热所述衬底。包括静电夹具的所述第二子组合件安置在所述LED衬底加热器子组合件上。所述静电夹具包含在由所述LED发射的所述波长处为透明的顶部电介质层和内部层。一或多个电极安置于所述顶部电介质层与所述内部层之间以形成所述静电力。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 led 加热 静电 夹具 | ||
【主权项】：
1.一种设备，其特征在于，包括：密封壳体，其含有包括多个发光二极管的电路，其中所述密封壳体的顶部表面包括静电夹具，其中所述密封壳体包含具有由侧壁界定的凹部的基底，且所述电路安置在所述凹部，且其中发光二极管的光能被配置成直接加热设置在所述静电夹具上的衬底，其中所述静电夹具安置在所述侧壁的顶部上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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